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T/CITS 402-2025 金属薄膜电容式真空计

T/CITS 402-2025 Metal film capacitive vacuum gauge

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CITS 402-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
23.160 真空技术
发布日期
2025-05-12
实施日期
2025-05-12
发布单位/组织
-
归口单位
中国检验检测学会
适用范围
范围:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用; 主要技术内容:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用

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研制信息

起草单位：
北京中科九微科技有限公司、上海梅科伍德电子科技有限公司、中国科学院微电子研究所、四川景恒科技有限公司、陕西君研科技有限公司、华中科技大学、东北大学、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司
起草人：
陈林、鲍春、张心强、冉锐、张燕斌、傅邱云、杜广煜、宋铠钰、谢志清、张滔、王大钊、刘玉润、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、王艳杰、徐敬铭、包瑾、王志豪
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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