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T/CASME 134-2022 原子层沉积粉体包覆设备

T/CASME 134-2022 Atomic Layer Deposition (ALD) Powder Encapsulation Equipment

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CASME 134-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J 机械
国际标准分类号（ICS）
23.160 真空技术
发布日期
2022-11-24
实施日期
2022-12-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于原子层沉积粉体包覆设备的制造; 主要技术内容:本文件规定了原子层沉积粉体包覆设备的型号编制、组成与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

发布历史

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研制信息

起草单位：
柔电（武汉）科技有限公司、宁波柔创纳米科技有限公司、江汉大学、深圳市新嘉拓自动化技术有限公司、中国中小商业企业协会
起草人：
解明、胡进、杨斌、肖翌、熊红波、张宣宣、刘志宏、李煜宇、郭萍梅、周研、孙东岳、母良睿
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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