GB/T 45856-2025 真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度

ICS23160

CCSJ7.8

中华人民共和国国家标准

GB/T45856—2025/ISO196852017

:

真空技术真空计皮拉尼真空计的

规范校准和测量不确定度

、

Vacuumtechnolo—Vacuumaues—Secificationscalibrationand

gyggp,

measurementuncertaintiesforPiranigauges

ISO196852017IDT

(:,)

2025-08-01发布2025-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T45856—2025/ISO196852017

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

部组件定义

3.1…………………………1

物理参数定义

3.2………………………2

符号和缩略语

4……………3

皮拉尼真空计原理

5………………………3

皮拉尼真空计规范

6………………………4

通则

6.1…………………4

测量原理

6.2……………4

输出类型

6.3……………4

输出范围和输出显示分辨率

6.4………………………4

测量范围和满量程

6.5…………………4

预期测量不确定度

6.6…………………4

暴露在气体中的材料

6.7………………5

连接法兰

6.8……………5

接口和引脚连接

6.9……………………5

预热时间

6.10……………5

真空计规管与控制单元的兼容性

6.11…………………5

正常运行环境条件

6.12()………………5

供电

6.13…………………5

电缆长度

6.14……………5

最大烘烤温度

6.15………………………5

规管和控制单元的尺寸

6.16……………5

安装方向

6.17……………5

皮拉尼真空计附加可选规范

7()…………5

长期不稳定性

7.1………………………5

相对灵敏度系数

7.2……………………6

迟滞

7.3…………………6

响应时间

7.4……………6

检验记录和校准证书

7.5………………6

Ⅰ

GB/T45856—2025/ISO196852017

:

配置

7.6…………………6

质量

7.7…………………6

储存和运输条件

7.8……………………6

照片

7.9…………………6

最大功耗

7.10……………6

压力设定点

7.11…………………………6

校准和其他测量步骤

8……………………6

通则

8.1…………………6

校准条件

8.2……………7

校准物品的安装和调整

8.3……………7

校准

8.4…………………7

校准过程中的测量不确定度

8.5………………………7

校准证书

8.6……………8

迟滞的测量程序

8.7……………………8

响应时间的测量程序

8.8………………8

使用时的测量不确定度

9…………………9

附录资料性典型的皮拉尼真空计

A()…………………10

参考文献

……………………11

Ⅱ

GB/T45856—2025/ISO196852017

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用真空技术真空计皮拉尼真空计的规范校准和测量不确定

ISO19685:2017《、

度

》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国机械工业联合会提出

。

本文件由全国真空技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC18)。

本文件起草单位兰州空间技术物理研究所上海航天技术基础研究所沈阳汇真真空技术有限公

:、、

司淄博市计量技术研究院湖南维格磁流体股份有限公司安徽皖仪科技股份有限公司浙江伟航真空

、、、、

科技有限公司中核第七研究设计院有限公司湘潭宏大真空技术股份有限公司山东精瑞计量检测有

、、、

限公司山东沐东真空科技有限公司马德宝真空设备集团有限公司苏州楚翰真空科技有限公司沈阳

、、、、

真空技术研究所有限公司

。

本文件主要起草人成永军翁俊赵澜孙雯君沈惠峰董猛于海宝宋青竹宋健宋欣洋

:、、、、、、、、、、

言继春王功发王国东黄文平林刚直李峥鸣王子圣黄乐任会明张志宁李长栋王于祥

、、、、、、、、、、、、

张宝夫刘红星陈联张瑞芳孙冬花宗苏琛王玲玲

、、、、、、。

Ⅲ

GB/T45856—2025/ISO196852017

:

引言

对于没有具体指导准则的特定真空计来说和被作为基本标准使用也是普

,ISO3567ISO27893,

遍适用的标准特定真空计的详细准则将在后续的技术文件中分别给出

。。

在表征或校准皮拉尼真空计时或将其用作标准真空计时本文件是对和的

,,ISO3567ISO27893

补充

。

皮拉尼真空计广泛用于测量中真空压力至大气压力本文件描述了皮拉尼真空计测量中低真空压

。

力和传递压力范围的相关参数校准准则和不确定度

、。

Ⅳ

GB/T45856—2025/ISO196852017

:

真空技术真空计皮拉尼真空计的

规范校准和测量不确定度

、

1范围

本文件确立了皮拉尼真空计的参数描述了其校准步骤规定了使用这些真空计时要考虑的测量不

,,

确定度

。

本文件适用于工作压力范围为的皮拉尼真空计

0.01Pa~150kPa。

当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时本文件是对和的补充

,ISO3567ISO27893。

另外本文件还描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法

,。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

真空计与标准真空计直接比较校准

ISO3567(Vacuumgauges—Calibrationbydirectcomparison

withareferencegauge)

注真空计与标准真空计直接比较校准

:GB/T34873—2017(ISO3567:2011,IDT)

真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定

ISO27893(Vacuumtech-

nology—Vacuumgauges—Evaluationoftheuncertaintiesofresultsofcalibrationsbydirectcompari-

sonwithareferencegauge)

注真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定

:GB/T34876—2017(ISO27893:2011,

IDT)

检测和校准实验室能力的通用要求

ISO/IEC17025(Generalrequirementsforthecompetenceof

testingandcalibrationlaboratories)

注检测和校准实验室能力的通用要求

:GB/T27025—2019(ISO/IEC17025:2017,IDT)

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31部组件定义

.

311

..

热传导真空计thermalconductivitygauge

通过测量保持不同温度的两个固定元件表面间的热量传递来确定压力的一种真空计

。

注这种真空计取决于与压力相关的气体热传导

:。

来源有修改删除了示例

[:ISO3529-3:2014,2.4.2.2,———]

312

..

皮拉尼真空计Piranigauge

加热元件是惠斯通电桥的组成部分由电桥为其提供能量并测量元件电阻或耗散功率的一种热传

,,

1