GB/T 40344.4-2025 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分：涡轮分子泵

ICS23160

CCSJ7.8

中华人民共和国国家标准

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

真空技术真空泵性能测量标准方法

第4部分涡轮分子泵

:

Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pump

erformance—Part4Turbomolecularvacuumums

p:pp

ISO21360-42018IDT

(:,)

2025-08-01发布2025-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号

4………………………3

测试方法

5…………………3

测试气体

5.1……………3

体积流率抽速的测量

5.2()……………3

最大流量的测量

5.3……………………4

临界前级压力的测量

5.4………………4

压缩比测量

5.5…………………………5

基础压力的测量

5.6……………………5

振动测量

5.7……………5

测试报告

6…………………5

体积流率

6.1……………6

压缩比

6.2………………6

最大流量

6.3……………6

临界前级压力

6.4………………………6

基础压力

6.5……………7

振动

6.6…………………7

附录资料性公式和公式的推导

A()(4)(5)……………8

参考文献

………………………9

Ⅰ

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是真空技术真空泵性能测量标准方法的第部分已经发

GB/T40344《》4。GB/T40344

布了以下部分

:

第部分总体要求

———1:;

第部分容积真空泵

———2:;

第部分机械增压泵的特定参数

———3:;

第部分涡轮分子泵

———4:。

本文件等同采用真空技术真空泵性能测量标准方法第部分涡轮分子

ISO21360-4:2018《4:

泵

》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国机械工业联合会提出

。

本文件由全国真空技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC18)。

本文件起草单位北京中科科仪股份有限公司沈阳真空技术研究所有限公司沈阳汇真真空技术

:、、

有限公司浙江博亚精密机械有限公司兰州空间技术物理研究所北京东方计量测试研究所中科九微

、、、、

科技股份有限公司深圳市贺盛真空科技有限公司宁波卓尔汽车零部件有限公司浙江伟航真空科技

、、、

有限公司中核第七研究设计院有限公司湖南维格磁流体股份有限公司北京通嘉宏瑞科技有限公司

、、、、

安徽皖仪科技股份有限公司湘潭宏大真空技术股份有限公司中科光智重庆科技有限公司马德宝

、、()、

真空设备集团有限公司合肥昱驰真空技术有限公司深圳市美格真空科技有限公司宝鸡西工钛合金

、、、

制品有限公司苏州苏磁智能科技有限公司

、。

本文件主要起草人李赏张勤德李兵宋海燕孙足来宋青竹乔忠路陆学贵李松波成永军

:、、、、、、、、、、

赵澜卢耀文王欢邓高飞王浩为李学勇白刚郭传渠林刚直闫昊王子圣言继春言文静雷晓宏

、、、、、、、、、、、、、、

王国东黄文平黄乐秦占阳王于祥张宝夫郁晋军董欣李光俊赵子博尹成科尤志强张浩

、、、、、、、、、、、、、

顾艳庆邹蒙武涛吴晓云孙雯君陈联孙冬花罗守庚王玲玲

、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

引言

原有的真空泵标准体系对某些类真空泵性能参数的测量提出了各自的要求测量装置和性能测量

,,

方法等内容多有重复且表述不清晰特定真空泵标准的制定以总体要求为基础依据各自的特性来测

,。,

定性能数据极限值和特定运行条件当特定真空泵的测量方法与总体要求存在差异时以特定标准为

、。,

准真空技术真空泵性能测量标准方法旨在从真空泵性能共性和特性的角度提出标

。GB/T40344《》

准测量方法即总体要求和特定真空泵标准拟由个部分构成

,,6。

第部分总体要求旨在提供一份用于测量真空泵性能参数的基础文件简化了今后对特定

———1:。,

真空泵标准的制定包括了三种体积流率的测量方法以及真空基础压力压缩比和临界前级

。,、

压力的测量方法

。

第部分容积真空泵旨在以总体要求为基础对容积真空泵的性能测量标准方法加以补

———2:。,

充包含了容积真空泵的体积流率基础压力水蒸气容限功耗和最低启动温度的测量方法

,、、、。

第部分机械增压泵的特定参数旨在描述机械增压泵的最大容许压差有效压缩比零流

———3:。、、

量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求

。

第部分涡轮分子泵旨在以总体要求为基础描述了以流量法和小孔法测量涡轮分子泵体

———4:。,

积流率的方法和装置以及最大流量临界前级压力压缩比基础压力振动等参数的测量方

,、、、、

法和测量装置

。

第部分非蒸散型吸气剂真空泵旨在以总体要求为基础对非蒸散型吸气剂真空

———5:(NEG)。,

泵的性能测量标准方法加以补充

。

第部分低温真空泵旨在以总体要求为基础对低温真空泵的性能测量标准方法加以

———6:。,

补充

。

Ⅳ

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

真空技术真空泵性能测量标准方法

第4部分涡轮分子泵

:

1范围

本文件及描述了涡轮分子泵的性能测量方法适用于所有规格和所有型式的涡轮

GB/T40344.1,

分子泵包括

。:

带机械轴承或磁轴承的

———;

带不带附加牵引级或其他转子抽气级的

———/;

带一个或多个进气口的

———。

由于涡轮分子泵有前级泵支持体积流率入口压力的曲线不能完全确定涡轮分子泵的性能同

,-。

时涡轮分子泵的驱动装置和前级压力均影响其性能参数

,。

下列内容用以补充确定其性能参数

:

涡轮分子泵的流量和前级压力

———;

压缩比曲线涡轮分子泵的压缩比前级压力

———(-)。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

真空技术真空泵性能测量标准方法第部分总体要求

GB/T40344.1—20211:(ISO21360-1:

2020,IDT)

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T40344.1。

31

.

临界前级压力criticalbackingpressure

p

c

当涡轮分子泵仍具有pp大于的压缩比且吹扫气体关闭时涡轮分子泵和驱动装置能连续

3/110,,

运行而不发生损坏或过载的状态下出气口处的最大前级压力p

(3)。

注1p是涡轮分子泵入口处的高真空压力在此工作压力下涡轮分子泵转速能下降p的值取决于转速和

:1()。,。c

气体类型因此这两者均要随p的值同时注明

,c。

注2带有吹扫气体的测量会导致不同的结果在进气口抽除轻质气体时使用重质吹扫气体会影响临界前级压力

:[,

p的性能因此吹扫气体的流量要为零

(c)]。,。

32

.

最大流量maximumthroughput

Q

max

涡轮分子泵能连续抽气而不发生损伤或毁坏的最高气体负荷

。

1