GB/T 40344.1-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分：总体要求

ICS23.160

J78

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT40344.12021ISO21360-12020

真空技术真空泵性能测量标准方法

:

第部分总体要求

1

—

VacuumtechnoloStandardmethodsformeasurinvacuum-um

gygpp

—:

erformancePart1Generaldescrition

pp

(:,)

ISO21360-12020IDT

2021-08-20发布2022-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT40344.12021ISO21360-12020

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号………………………3

5测试方法…………………4

()………………………

5.1流量法测量体积流率抽速4

5.1.1概述……………4

5.1.2流量法的测试罩………………4

5.1.3测试装置………………………5

5.1.4体积流率的测定………………6

5.1.5测量步骤………………………7

5.1.6测量不确定度…………………7

5.1.7测量评估………………………7

()………………………

5.2小孔法测量体积流率抽速7

5.2.1概述……………7

5.2.2小孔法的测试罩………………8

5.2.3测量装置………………………8

5.2.4体积流率的测定………………9

5.2.5小孔法测量步骤………………9

5.2.6压力测量仪表的调整…………10

5.2.7体积流率的测量………………10

5.2.8测量不确定度…………………10

5.2.9测量评估………………………10

()………………………

5.3抽气法测量体积流率抽速11

5.3.1概述……………11