GB/T 46081-2025 真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度

ICS23160

CCSJ7.8

中华人民共和国国家标准

GB/T46081—2025/ISO244772025

:

真空技术真空计磁悬浮转子真空计的

规范校准和测量不确定度

、

Vacuumtechnolo—Vacuumaues—Secificationscalibrationand

gyggp,

measurementuncertaintiesforspinningrotorgauges

ISO244772025IDT

(:,)

2025-08-29发布2025-08-29实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T46081—2025/ISO244772025

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………2

符号和缩略语

4……………4

磁悬浮转子真空计的原理

5………………5

磁悬浮转子真空计规范

6…………………6

磁悬浮转子真空计的附加可选规范

7()…………………7

校准

8………………………8

使用时的测量不确定度

9…………………10

参考文献

……………………11

Ⅰ

GB/T46081—2025/ISO244772025

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用真空技术真空计磁悬浮转子真空计的规范校准和测量不

ISO24477:2025《、

确定度

》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国机械工业联合会提出

。

本文件由全国真空技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC18)。

本文件起草单位兰州空间技术物理研究所东北大学兰州文理学院沈阳真空技术研究所有限公

:、、、

司北京卫星环境工程研究所中国计量科学研究院合肥工业大学中核第七研究设计院有限公司

、、、、、

沈阳汇真真空技术有限公司

。

本文件主要起草人李得天习振华张虎忠李亚丽刘坤郝明孙足来宋青竹贾文杰孙立臣

:、、、、、、、、、、

史纪军李刚于红燕王金库毕海林任正宜李峥鸣王子圣郭美如王永军迟小宇谢元华巴要帅

、、、、、、、、、、、、、

綦磊王玲玲

、。

Ⅲ

GB/T46081—2025/ISO244772025

:

引言

在描述磁悬浮转子真空计的特征将其用于校准或用作标准真空计时本文件是对

(SRGs)、,ISO3567

和的补充

ISO27893。

磁悬浮转子真空计用于测量高真空和中真空的压力使用此类真空计进行压力量值传递和测量

。

中高真空压力时建议给出本文件中规定的相关参数校准结果和不确定度

、,、。

Ⅳ

GB/T46081—2025/ISO244772025

:

真空技术真空计磁悬浮转子真空计的

规范校准和测量不确定度

、

1范围

本文件界定了磁悬浮转子真空计[2]-[4]相关的术语规定了所需参数详细描述了在使

(SRG),SRG,

用这些真空计时的校准步骤和所需不确定度分量本文件适用的压力上限为

。2Pa。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

真空技术术语第部分基础术语

ISO3529-11:(Vacuumtechnology—Vocabulary—Part1:

Generalterms)

注真空技术术语

:GB/T3163—2024(ISO3529-1:2019,ISO3529-2:2020,ISO3529-3:2014,MOD)

真空技术术语第部分全压和分压真空计

ISO3529-33:(Vacuumtechnology—Vocabulary—

Part3:Totalandpartialpressurevacuumgauges)

注真空技术术语

:GB/T3163—2024(ISO3529-1:2019,ISO3529-2:2020,ISO3529-3:2014,MOD)

真空技术真空计与标准真空计直接比较校准

ISO3567(Vacuumtechnology—Vacuumgau-

ges—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)

注真空计与标准真空计直接比较校准

:GB/T34873—2017(ISO3567:2011,IDT)

真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定

ISO27893(Vacuumtech-

nology—Vacuumgauges—Evaluationoftheuncertaintiesofresultsofcalibrationsbydirectcompari-

sonwithareferencegauge)

注真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定

:GB/T34876—2017(ISO27893:2011,

IDT)

测量不确定度第部分测量不确定度表示指南

ISO/IECGuide98-33:(GUM:1995)[Uncertainty

ofmeasurement—Part3:Guidetotheexpressionofuncertaintyinmeasurement(GUM:1995)]

注测量不确定度评定和表示

:/—(/:,)

GBT274182017ISOIECGuide98-32008MOD

国际计量学词汇基本和通用概念及相关术语

ISO/IECGuide99(VIM)[Internationalvocabu-

laryofmetrology—Basicandgeneralconceptsandassociatedterms(VIM)]

国际电工词汇电工电子测量和仪器仪表第部分测量的通用术语

IEC60050(300-311)311:

(InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeasuringin-

struments—Part311:Generaltermsrelatingtomeasurements)

注电工术语电工电子测量和仪器仪表第部分测量的通用术语

:GB/T2900.77—20081:[IEC60050(300-

311):2001,IDT]

国际电工词汇电工电子测量和仪器仪表第部分电测量的通用术

IEC60050(300-312)312:

语

(InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeasuring

1

GB/T46081—2025/ISO244772025

:

instruments—Part312:Generaltermsrelatingtoelectricalmeasurements)

注电工术语电工电子测量和仪器仪表第部分电测量的通用术语

:GB/T2900.89—20122:[IEC60050(300-

312):2001,IDT]

国际电工词汇电工电子测量和仪器仪表第部分电测量仪器仪表

IEC60050(300-313)313:

的类型

(InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeas-

uringinstruments—Part313:Typesofelectricalmeasuringinstruments)

注电工术语电工电子测量和仪器仪表第部分电测量仪器仪表的类型

:GB/T2900.79—20083:[IEC60050

(300-313):2001,IDT]

国际电工词汇电工电子测量和仪器仪表第部分各类仪表的特殊术

IEC60050(300-314)314:

语

(InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeasuringinstru-

ments—Part314:Specifictermsaccordingtothetypeofinstruments)

注电工术语电工电子测量和仪器仪表第部分各类仪表的特殊术语

:GB/T2900.90—20124:[IEC60050

(300-314):2001,IDT]

3术语和定义

ISO3529-1、ISO3529-3、ISO3567、ISO27893、ISO/IECGuide98-3、ISO/IECGuide99、IEC60050-300

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

。

31部组件术语

.

311

..

转子rotor

依靠磁力悬浮在真空中的旋转部件

。

注任何磁性元件都能用于制作转子然而考虑到现实原因本文件只以球体作为旋转部件球形转子可能显现

:。,,。

偶极子磁场但也可能是高阶磁场

,。

312

..

套管thimble

真空管

finger

转子311在其中受磁力悬浮的管道

(..)。

注1套管材料最好是非磁性不锈钢

:。

注2电导率高的材料不适用

:。

313

..

悬浮头suspensionhead

测量头

measuringhead

传感头

sensinghead

安装在套管312上用于在真空条件下悬浮稳定加速转子311并检测与转子产生的磁信

(..),、、(..),

号相同步的信号的设备

。

314

..

控制单元controller

磁悬浮转子真空计中用于控制悬浮头313显示转子311衰减速率以及通过设置参数如

<>(..),(..)