GB/T 3163-2024 真空技术 术语

ICS23160

CCSJ7.8

中华人民共和国国家标准

GB/T3163—2024

代替GB/T3163—2007

真空技术术语

Vacuumtechnology—Vocabulary

ISO3529-12019Vacuumtechnolo—Vocabular—Part1GeneraltermsMOD

(:,gyy:,;

ISO3529-22020Vacuumtechnolo—Vocabular—Part2Vacuumumsand

:,gyy:pp

relatedtermsMODISO3529-32014Vacuumtechnolo—Vocabular—

,;:,gyy

Part3TotalandartialressurevacuumauesMOD

:ppgg,)

2024-09-29发布2024-09-29实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T3163—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

基础术语

3.1……………1

真空泵及相关术语

3.2…………………9

全压和分压真空计术语

3.3……………19

真空系统及有关术语

3.4………………27

检漏及有关术语

3.5……………………34

真空镀膜技术术语

3.6…………………37

真空冶金术语

3.7………………………43

符号

4………………………48

附录资料性本文件与和结构编号

A()ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020ISO3529-3:2014

对照情况

………………50

附录资料性本文件与和技术差异

B()ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020ISO3529-3:2014

及原因

…………………59

附录资料性真空泵分类图谱

C()………………………61

附录资料性全压真空计树形图谱

D()…………………62

参考文献

……………………63

索引

…………………………64

Ⅰ

GB/T3163—2024

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替真空技术术语与相比除结构调整和编辑

GB/T3163—2007《》,GB/T3163—2007,

性改动外主要技术变化如下

,:

更改了本文件的适用范围见第章年版的第章

———(1,20071);

增加了超清洁真空体积速度气体温度等条术语见第章

———“”“”“”70(3);

更改了真空区域压力未饱和蒸气等条术语见第章年版的第章第章

———“”“”“”28(3,20072、3、

第章第章和第章

4、56);

删除了标准环境条件标准气体状态帕斯卡等条术语见年版的第章第

———“”“”“”21(20072、3

章第章第章和第章

、4、67);

删除了有关真空干燥和冷冻干燥的术语见年版的第章

———(20078);

删除了有关表面分析技术的术语见年版的第章

———(20079);

更改了符号见第章年版的附录

———“”(4,2007B);

删除了附录在采用国际单位制制之前使用的压力单位和换算系数见年版的附

———“(SI)”(2007

录

A)。

本文件修改采用真空技术词汇第部分基础术语真

ISO3529-1:2019《1:》、ISO3529-2:2020《

空技术词汇第部分真空泵及相关术语和真空技术词汇第部分全压

2:》ISO3529-3:2014《3:

和分压真空计

》。

本文件与和相比在结构上有较多调整两

ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020ISO3529-3:2014,,

个文件之间的结构编号变化对照一览表见附录

A。

本文件与和相比存在较多技术差异在所

ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020ISO3529-3:2014,,

涉及的条款外侧页边空白位置用垂直单线∣进行了标示这些技术差异及其原因一览表见附录

(),B。

本文件做了下列编辑性改动

:

为与现有标准协调将标准名称改为真空技术术语

———,《》;

出于使用者易于查询术语来源的考虑用全文替换

———,GB/T40344.1—2021ISO21360-1:2012;

增加了附录资料性本文件与和结

———A()“ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020ISO3529-3:2014

构编号对照情况

”;

增加了附录资料性本文件与和技

———B()“ISO3529-1:2019、ISO3529-2:2020ISO3529-3:2014

术差异及原因

”;

增加了索引便于引用

———,。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国机械工业联合会提出

。

本文件由全国真空技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC18)。

本文件起草单位东北大学台州职业技术学院浙江飞越机电有限公司兰州空间技术物理研究

:、、、

所淄博真空设备厂有限公司北京东方计量测试研究所合肥工业大学浙江博亚精密机械有限公司

、、、、、

沈阳真空技术研究所有限公司沈阳理工大学暨南大学安徽万瑞冷电科技有限公司中科九微科技有

、、、、

限公司兰州真空设备有限公司泊肃叶科技沈阳有限公司湘潭宏大真空技术股份有限公司广东欧

、、()、、

莱高新材料股份有限公司台州瑞晶机电有限公司中山火炬职业技术学院南京真空泵厂有限公司

、、、、

Ⅲ

GB/T3163—2024

北京通嘉宏瑞科技有限公司北京航空材料研究院股份有限公司沈阳汇真真空技术有限公司

、、。

本文件主要起草人刘坤李得天巴德纯张以忱张宝夫蒋友荣黄国普赵澜张虎忠徐法俭

:、、、、、、、、、、

黄志婷卢耀文王旭迪王晓冬张世伟陆学贵吴晓云宋青竹迟小宇谢元华赵新颖杜雪峰刘彭义

、、、、、、、、、、、、、

汪澎周家屹邓高飞石晓强马强李成林陈正伟黄乐邹凯卢宽宽郭文斌王丽荣胡世苓

、、、、、、、、、、、、、

冯磊杜广煜巴要帅陈树雷魏民郝明王桂鹏孟冬辉张华霞万旭杰李松波曹青王欢乔忠路

、、、、、、、、、、、、、、

王玲玲

。

本文件于年首次发布年第一次修订年第二次修订本次为第三次修订

1982,1993,2007,。

Ⅳ

GB/T3163—2024

真空技术术语

1范围

本文件界定了真空技术领域常用的基础术语真空泵及相关术语全压和分压真空计术语真空系

、、、

统及有关术语检漏及有关术语真空镀膜技术术语真空冶金术语及上述术语的定义

、、、,。

本文件适用于真空技术领域及相关的教学科研设计制造技术交流以及编写相关技术文件和

、、、、,

书刊

。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31基础术语

.

311一般术语

..

3111

...

真空vacuum

低于大气压力或大气分子密度的稀薄气体状态或基于该状态的环境

。

3112

...

真空区域rangesofvacuum

根据一定压力范围对真空各区域进行的划分

。

注1压力范围在选定时会略有差异广为认可的典型真空度范围见表

:,1。

注2地面气压取决于天气状况和海拔高度气压范围从珠穆朗玛峰的海拔高度和天气状况为气压低点

:,31kPa()

到死海的海拔高度和天气状况为气压高点不等

110kPa()。

表1典型真空区域

压力范围定义划分理由典型情况

()

2大气压压力能通过简单的材料如普通钢材和容积

≥1×10Pa~<低粗真空()

()式真空泵获得气体处于黏性流态

(31kPa~110kPa);

压力能通过精密的材料如不锈钢和容积式

-12中真空()

≥1×10Pa~<1×10Pa真空泵获得气体处于过渡流态

;

压力能通过精密的材料如不锈钢弹性体密

-6-1高真空()、

≥1×10Pa~<1×10/Pa(HV)封和高真空泵获得气体处于分子流态

;

1

GB/T3163—2024

表1典型真空区域续

()

压力范围定义划分理由典型情况

()

压力能通过精密的材料如低碳不锈钢金属

()、

-9-6超高真空密封特殊的表面处理和清洗烘烤和高真空

≥1×10Pa~<1×10Pa(UHV)、、

泵获得气体处于分子流态

,

压力能通过复杂材料如真空熔炼低碳不锈

(

钢铝铜铍钛金属密封特殊表面处理和

-9极高真空、、、)、、

<1×10Pa(XHV)清洁烘烤和附加吸气剂泵获得气体处于分

、,

子流态

3113

...

超清洁真空ultracleanvacuum

对于某些气体种类来说相当于超高真空条件具有特殊条件的中真空或者高真空

,。

注1根据特定的应用会对气体种类掺杂有不同的要求

:,()。

注2碳氢化合物一氧化碳二氧化碳和水蒸气是典型的掺杂气体

:、(CO)、(CO2)(H2O)。

注3特定情况下对低颗粒密度也有要求

:。

3114

...

真空压力pressureofavacuum

p

31141

....

真空压力pressureofavacuum

在界面上气体作用力的法向分量和受力面积的比值

<>。

注如果存在气体流动那么规定表面方向与气体流动方向一致

:,。

31142

....

真空压力pressureofavacuum

气体中某一特定点根据理想气体定律所确定的气体状态如有必要时对真实气体进行修正

<>,。

注1当应用理想气体定律时一个无穷小体积内的压强由该体积内气体分子的数密度n玻尔兹曼常数k

:,(p)()、()

和温度T的乘积给出

()。

注2对于大多数真空环境下的实际应用未经修正的理想气体定律仍适用于真实气体考虑体积和气体分子的相

:,(

互作用

)。

3115

...

分压力partialpressure

混合气体中某一特定气体组分的压力

。

注单位为帕斯卡

:(Pa)。

3116

...

全压力totalpressure

当压力不能明确区分各组分分压力同他们之和的区别时用于表示混合气体中所有组分的分压

“”,

力之和

。

注单位为帕斯卡

:(Pa)。

3117

...

真空度degreeofvacuum

真空环境下气体的稀薄程度

。

注通常用压力值表示

:。

2

GB/T3163—2024

312气体和蒸气及其参数的术语

..

3121

...

气体gas

不受分子间力约束能自由占据任意可达空间的物质

,。

注在真空技术中气体泛指非可凝性气体和蒸气

:,“”。

3122

...

非可凝性气体non-condensablegas

温度处在临界温度之上即单纯增加压力不能使其凝结的气体

,。

3123

...

蒸气vapour

温度处在临界温度以下即单纯增加压力能使其凝结的气体

,。

3124

...

饱和蒸气压saturationvapourpressure

p

L

在给定温度下蒸气与其凝聚相处于热力学平衡时蒸气的压力

,。

3125

...

饱和度degreeofsaturation

蒸气压力与其饱和蒸气压之比

。

3126

...

饱和蒸气saturatedvapour

在给定温度下压力等于其饱和蒸气压的蒸气

,。

注当蒸气与物质的凝聚相处于热力学平衡时蒸气始终处于饱和状态

:,。

3127

...

不饱和蒸气unsaturatedvapour

在给定温度下蒸气压力低于其饱和蒸气压的蒸气

,。

3128

...

分子数密度numberdensityofmolecules

n

气体中某一特定点某一瞬间t时刻该点周围选定体积内的分子数目与该体积的比值

<,>,。

注t指瞬间一段很短的延续时间t的平均值这段延续时间足以能够获得可信的统计平均值

:。(Δ),。

3129

...

单位质量密度unitarymassdensity

ρu

气体的质量密度与其压力的比值

。

31210

...

体积速度bulkvelocity

v

在某一时刻围绕该点充分选定的体积中分子的平均速度

,。

注选择适当的体积以包含足够数量的分子从而能获得稳定的统计结果并使所获得的值在该体积中没有显著

:,,

变化

。

3

GB/T3163—2024

31211

...

气体温度temperature

T

与t时刻下参考单元的体积内所含分子的平均动能成正比与同体积内的气体分子体积速度有关