GB/T 3163-2007 真空技术 术语

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中华人民共和国国家标准

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ＧＢＴ３１６３１９９３

真空技术术语

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２００７１２０２发布２００８０６０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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目次

前言Ⅲ

１范围１

２一般术语１

３真空泵及有关术语６

４真空计１３

５真空系统及有关术语１９

６检漏及有关术语２５

７真空镀膜技术２７

８真空干燥和冷冻干燥３２

９表面分析技术３７

１０真空冶金４２

附录（资料性附录）在采用国际单位制（制）之前使用的压力单位和换算系数

ＡＳＩ４８