适用范围：本标准界定了四极质谱仪相关的术语，并规定了制造商说明书中需要的参数，用于正常的校准和分压力测量质量的保证。本标准适用于配备了电子轰击型离子源的四极质谱仪。这样的四极质谱仪通常用于测量质荷比（m/z）小于300的物质。配有如化学电离、光电离、场致电离等其他类型的离子源，以及主要用于检测质荷比（m/z）大于300的特定有机物质的四极质谱仪，不在本标准适用范围内。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变螺距螺杆型干式真空泵的术语和定义、型式与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、铭牌、标志、贮存、文件、装箱、包装和运输、质量承诺。本文件适用于变螺距螺杆型干式真空泵（以下简称“真空泵”）

适用范围：范围:本文件规定了真空充氮杀虫灭菌设备的规格分类、型式与参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则，及标志、包装、运输和贮存的要求。 本文件适用于对所有纸质、丝绸、竹简和木质等材质的书籍、档案和文物进行杀虫灭菌设备的制造; 主要技术内容:随着城市经济、文化和社会的发展，图书、档案、文物、文献资料的重要性愈发凸显。杀虫灭菌是开展档案保护的基础性工作之一，对延长档案寿命具有重要意义。真空充氮是一种新兴有效的档案、文物杀虫灭菌物理方法，安全且无毒害，对书籍、档案和文物等没有明显的不良影响，因此得以广泛推广使用。本文件的制定，旨在规范性能参数的测量方法，确保设备的安全性、可靠性和稳定性，亦为设备的生产、制造提供指导。可推动真空充氮杀虫灭菌设备的技术发展及优化设计，规范该设备的行业发展，也有利于该设备的大范围推广应用。前言II引言III1范围12规范性引用文件13术语和定义14设备规格分类25型式与参数26基本要求37技术要求38试验方法59检验规则610标志、包装、运输、贮存6附录A（资料性）档案图书害虫在充氮保压状况下的致死时间8参考文献9

适用范围：主要技术内容:本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）

适用范围：本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。

适用范围：本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。

适用范围：主要技术内容:本标准规定了滑阀真空泵的术语和定义、型式与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标牌、标志、包装、运输和贮存、质量承诺。本标准适用于单级、双级滑阀真空泵（以下简称泵）

适用范围：本标准规定了双锥回转式真空干燥机的分类与标记、要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输和贮存。 本标准适用于以蒸汽或热水为加热源的双锥回转式真空干燥机(以下简称干燥机)。

适用范围：本标准规定了真空系统中用于控制气流或真空压力的真空阀门的漏率测试方法。适用于关闭后对于示漏气体密封漏率小于1×10-5 Pa·m3/s的真空阀门的漏率测试，也适用于阀体的漏率测试，可作为真空阀门检验的依据。本标准适用于真空阀门在允许操作压力范围、压差、烘烤温度、操作温度和寿命周期等规定技术条件下整个工作过程的漏率测试，在上述条件下阀门的测试漏率低于制造商给定的标称漏率。

适用范围：本标准规定了容积真空泵水蒸气容限的一种气体转换测量方法。 本标准适用于直排大气，并且基础压力低于100 Pa的泵。