GB/T 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法

ICS23.160

J78

中华人民共和国国家标准

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GBT350492018

真空技术四极质谱检漏方法

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VacuumtechnoloLeaktestinmethodbuadruolemasssectrometer

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2018-05-14发布2018-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT350492018

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4一般要求…………………3

4.1环境要求……………3

4.2设备要求……………3

4.3示踪气体纯度………………………3

4.4人员资格……………3

4.5示踪气体选择………………………3

4.6质量数选择…………………………3

4.7仪器校准……………4

5检漏方法…………………4

5.1喷吹法………………4

5.2真空室法……………8

5.3四极质谱非真空累积法……………11

5.4吸枪法………………15

6检漏文件…………………18

6.1检漏记录……………18

6.2检漏报告……………18

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