T/EDASQUARE 009-2024 后OPC结果校验软件输出数据格式规范
T/EDASQUARE 009-2024
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/EDASQUARE 009-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-09-21
实施日期
2024-12-22
发布单位/组织
-
归口单位
上海电子设计自动化发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了OPC结果仿真验证软件建模的输出数据格式。本文件适用于晶圆制造领域，包括晶圆制造厂（涵盖存储和逻辑芯片制造）本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自0.18um技术节点开始，以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次。随技术节点推进，标准需要涵盖更多技术要素
发布历史
-
2023年09月
-
2024年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院微电子研究所、上海概伦电子股份有限公司、全芯智造技术有限公司、东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司、苏州培风图南半导体有限公司、墨研计算科学（南京）有限公司、深圳市海思半导体有限公司、北京华大九天科技股份有限公司、广东工业大学
- 起草人：
- 李思坤、钟政、孟晓东、施伟杰、陈钊、沈忱、周洁云、刘晓明、沈逸江、林薇、温松辑、王琦、陈岚、王亚丽
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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