T/CEMIA 005-2018 光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范

ICS27160

F12.

团体标准

T/CEMIA005—2018

光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范

Quartzcruciblemanufacturingpracticesforphotovoltaicmonosilicon

growth

2018-03-01发布2018-05-01实施

中国电子材料行业协会发布

T/CEMIA005—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由中国电子材料行业协会提出并归口

。

本标准主要起草单位内蒙古欧晶科技股份有限公司锦州佑鑫石英科技有限公司江苏华尔石英

:、、

材料股份有限公司

。

本标准参加起草单位江西中昱新材料科技有限公司宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司宁晋晶

:、、

兴电子材料有限公司河北硕日石英制品有限公司江阴龙源石英制品有限公司常州裕能石英科技有

、、、

限公司南通路博石英材料股份有限公司

、。

本标准主要起草人祝立君陈曼于宏宇陈宝昌杜兴林李宗辉苏光都王文庆王君伟

:、、、、、、、、、

范玉华贾建亮徐晓军朱旦赵振生司继成

、、、、、。

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T/CEMIA005—2018

光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范

1范围

本标准规定了光伏单晶硅生长用石英坩埚从业人员生产设备原辅材料生产工艺作业环境及产

、、、、

品质量管控等

。

本标准适用于光伏单晶硅生长用石英坩埚生产过程

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

污水综合排放标准

GB8978

工业企业厂界环境噪声排放标准

GB12348

大气污染物综合排放标准

GB16297

危险废物贮存污染控制标准

GB18597

一般工业固体废物贮存处置场污染控制标准

GB18599、

建筑照明设计标准

GB50034

洁净厂房设计规范

GB50073

工作场所有害因素职业接触限值第部分化学有害因素

GBZ2.11:

职业健康监护技术规范

GBZ188

工作场所物理因素测量第部分噪声

GBZ/T189.88:

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

电弧熔制arcfusion

利用高温电弧熔融石英砂原料的过程

。

32

.

外表面处理outersurfacetreatment

利用研磨器具或外力冲击作用去除石英坩埚外表面未完全熔融石英砂的过程

。

33

.

切边倒棱cuttingandchamfering

利用切割工具对石英坩埚毛边进行切断并对切割断面进行倒角处理的过程

,。

34

.

化学清洗chemicalcleaning

利用化学药液侵蚀石英坩埚内外表面去除内外表面杂质的过程

、,、。

35

.

涂层coating

在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程

。

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