T/ICMTIA ESG0025-2022 集成电路用气体 氯气
T/ICMTIA ESG0025-2022
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0025-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用氯气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及安全。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氯气
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 中巨芯科技股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、TCL华星光电技术有限公司
- 起草人：
- 陈刚、张学良、贺辉龙、张广第、徐聪、宁海水、张雪刚、陈林、朱智敏、赵晓亚、王宁、陈晓平、柳彤、郑秋艳、黄晶、王立、代大全、傅俊、夏琳
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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