SJ 21315-2018 旋涂及热板设备通用规范
SJ 21315-2018 General specification for spin-coating and heat-drying platform
行业标准-电子
中文(简体)
现行
页数：15页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ 21315-2018
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2018-01-18
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
工业和信息化部电子第四研究院
适用范围
本规范规定了旋涂及热板设备的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项等内容。本规范适用于旋涂及热板设备(以下简称设备）的设计、生产、检验和验收
发布历史
-
2018年01月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第二研究所
- 起草人：
- 王卫华、晁宇晴、赵付超
- 出版信息：
- 页数：15页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/SA 84-2024 “海连江”区域公共品牌建设规范 鲍鱼 2024-12-03
- T/AHFS 011-2024 家庭自制熟食（肉类） 保鲜分级评价 2024-12-04
- T/ZJCX 0050-2024 卤肉制品 2024-12-24
- T/CAAPP 007-2018 富硒禽蛋 2018-12-18
- T/DMSP 02-2024 东明粉肚（香肚） 2024-12-04
- T/SDYZXCP 006.505-2024 优质牛肉生产技术规程 第5部分：屠宰 分割环节微生物控制 2024-10-22
- T/SDYZXCP 006.303-2024 优质牛肉生产技术规程 第3部分： 饲养管理 架子牛运输应激管理 2024-10-22
- T/NNAS 019-2024 东兴龙虾品牌建设要求 2024-12-23
- T/ZJCX 0051-2024 卤蛋 2024-12-24
- T/DMSP 01-2024 东明香肠 2024-12-04