1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/ICMTIA ESG0016-2022

T/ICMTIA ESG0016-2022 集成电路用气体 乙硅烷

T/ICMTIA ESG0016-2022 Gas used for integrated circuits: Ethylsilane

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA ESG0016-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
01.020 术语学(原则和协调配合)
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用乙硅烷的技术要求、检测方法、标志、包装与运储运安全的要求。本文件适用于用硅化镁法（小松法）制备的乙硅烷。主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅膜等的气相沉积工艺中。其他工艺参照本文件执行

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
安徽亚格盛电子新材料有限公司、全椒亚格泰电子新材料科技有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、上海正帆科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司
起草人：
徐昕、俞冬雷、魏入铎、孙雪峰、刘广登、李强强、王伟、郑秋艳、李东升、曾庆腾、陈艳珊
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>