T/ICMTIA ESG0016-2022 集成电路用气体 乙硅烷
T/ICMTIA ESG0016-2022 Gas used for integrated circuits: Ethylsilane
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0016-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用乙硅烷的技术要求、检测方法、标志、包装与运储运安全的要求。本文件适用于用硅化镁法（小松法）制备的乙硅烷。主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅膜等的气相沉积工艺中。其他工艺参照本文件执行
发布历史
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 安徽亚格盛电子新材料有限公司、全椒亚格泰电子新材料科技有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、上海正帆科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司
- 起草人：
- 徐昕、俞冬雷、魏入铎、孙雪峰、刘广登、李强强、王伟、郑秋艳、李东升、曾庆腾、陈艳珊
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 18437.2-2001 燃气汽车改装技术要求 液化石油气汽车 2001-09-03
- GB/T 18443.2-2001 低温绝热压力容器试验方法 真空度测量 2001-09-03
- GB/T 18443.3-2001 低温绝热压力容器试验方法 漏率测量 2001-09-03
- GB/T 18438-2001 港口起重机 验收试验规则 2001-09-03
- GB/T 18439-2001 港口起重机 稳定性基本要求 2001-09-03
- GB/T 18437.1-2001 燃气汽车改装技术要求 压缩天然气汽车 2001-09-03
- GB/T 18441-2001 港口起重机 供需必备文件 2001-09-03
- GB/T 18433-2001 航空货运保温集装箱热性能要求 2001-09-03
- GB/T 18440-2001 港口起重机 技术性能和验收文件 2001-09-03
- GB 18442-2001 低温绝热压力容器 2001-09-03