T/ICMTIA ESG0016-2022 集成电路用气体 乙硅烷
T/ICMTIA ESG0016-2022 Gas used for integrated circuits: Ethylsilane
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0016-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用乙硅烷的技术要求、检测方法、标志、包装与运储运安全的要求。本文件适用于用硅化镁法（小松法）制备的乙硅烷。主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅膜等的气相沉积工艺中。其他工艺参照本文件执行
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 安徽亚格盛电子新材料有限公司、全椒亚格泰电子新材料科技有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、上海正帆科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司
- 起草人：
- 徐昕、俞冬雷、魏入铎、孙雪峰、刘广登、李强强、王伟、郑秋艳、李东升、曾庆腾、陈艳珊
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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