T/ICMTIA ESG0015-2022 集成电路用气体 氘
T/ICMTIA ESG0015-2022
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0015-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-04-08
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了氘气的技术要求、试验方法以及包装、标志、运输、储存的要求。本文件适用于电解重水产生并经过精制纯化的氘气
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所
- 起草人：
- 郑秋艳、马茜茜、安园园、张长金、杨万吉、袁瑞玲、王蒙蒙、滕莹
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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