GB/T 15394-2026 多探针测试台通用技术条件

ICS31260

CCSL.90/94

中华人民共和国国家标准

GB/T15394—2026

代替GB/T15394—1994

多探针测试台通用技术条件

Generalspecificationforprobetester

2026-08-28发布2027-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T15394—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替多探针测试台通用技术条件与相比除结

GB/T15394—1994《》,GB/T15394—1994,

构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了术语和定义见第章年版的第章

a)(3,19943);

更改了技术要求见第章年版的

b)(5,19945.1.4、5.2、5.2.1、5.2.2、5.3.2、5.4.1、5.4.2、5.4.3、

5.4.4、5.5.1、5.5.2、5.5.3、5.5.4、5.6、5.7、5.8、5.9、5.9.2、5.11、5.12、5.14、5.15、5.16);

增加了电磁兼容性要求见

c)(5.17);

更改了试验方法见第章年版的

d)(6,19946.3、6.4.1、6.4.2、6.4.3、6.4.4、6.5.1、6.6、6.7、6.8、

6.9.2、6.10.1、6.10.2、6.10.3、6.11);

更改了检验规则见第章年版的

e)(7,19947.1、7.2.2);

更改了标志包装运输和贮存见第章年版的

f)、、(8,19948.1.2、8.2.3、8.3)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中华人民共和国工业和信息化部提出并归口

。

本文件起草单位三河建华高科有限责任公司中国电子科技集团公司第研究所中国电子技术

:、45、

标准化研究院北京工业大学燕山大学昆山迈致治具科技有限公司雯澜新上海半导体科技有限公

、、、、()

司矽电半导体设备深圳股份有限公司多场低温科技北京有限公司

、()、()。

本文件主要起草人段成龙杨晓静曹可慰刘海滨赵俊莎吕磊王伟吴怡然周豪宋伟峰

:、、、、、、、、、、

华长春王超史泽远邢莹李扬吴浩张宝帅宋子凯王胜利雷迪吴贵阳申世鹏

、、、、、、、、、、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为

———1994GB/T15394—1994;

本次为第一次修订

———。

Ⅰ

GB/T15394—2026

多探针测试台通用技术条件

1范围

本文件界定了多探针测试台以下简称探针台的术语和定义规定了技术要求检验规则标志

(“”),、、、

包装运输和贮存等要求描述了相应的试验方法

、,。

本文件适用于手动半自动全自动多探针测试台的设计生产检验和验收

、、、、。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

包装储运图形符号标志

GB/T191

声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简

GB/T3768

易法

设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案

GB/T5080.7

机械电气安全机械电气设备第部分通用技术条件

GB/T5226.11:

运输包装收发货标志

GB/T6388

电线电缆识别标志方法第部分标准颜色

GB/T6995.22:

机电产品包装通用技术条件

GB/T13384—2008

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T25915.1—20211:

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

多探针测试台probetester

利用金属探针将晶圆片上芯片的电极与测试仪表联接以完成芯片电参数测试环节的设备

(),。

32

.

手动多探针测试台manualprobetester

芯片或晶圆测试操作步骤由人工完成的探针台

。

33

.

半自动多探针测试台automaticprobetester

能自动完成除晶圆加载传输及预对准功能之外的其他探测步骤的探针台

、。

34

.

全自动多探针测试台fully-automaticprobetester

能自动完成包括图像识别自动对准及晶圆传输预对准等基本功能在内的所有探测步骤并具有

、、,

1