GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件

中华人民共和国国家标准

多探针测试台通用技术条件

主题内容与适用范围

本标准规定了多探针测试台以下简称探针台的术语技术要求试验方法检验规则包装贮存等

要求

本标准适用于手动半自动全自动多探针测试台其他类型的探针测试台亦可参照使用

引用标准

包装储运图示标志

出口机械电工仪器仪表产品包装通用技术条件

电工成套装置中的导线颜色

电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色

噪声源声功率级的测定简易法

设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案

机床电气设备通用技术条件

运输包装收发货标志

术语

探针台

利用金属探针将晶片上芯片的电极测试仪联接以完成芯片电参数中间测试的设备

手动探针台

操作步骤全部由人工完成的探针台

半自动探针台

能自动完成除图像识别自动对准之外的所有其他探测步骤的探针台

全自动探针台

能自动完成包括图像识别自动对准在内的所有探测步骤并具有多种功能的探针台

探针

具有特定机械电气性能和结构尺寸的金属针

测试支架

可在一定范围内分别调节探针的向距离用以安装固定探针的部件

探针卡

根据被测芯片电极所需探针的数量及布局将探针对应固定于一块基板上的卡片

探边器

用来探测探针是否已测至被测晶片边缘的部件

国家技术监督局批准实施

打标记器

给性能参数不合格的芯片打上标记的部件

矩阵控制方式

用键盘或拨码开关输入方向的图形数目及图形间距用以控制工作台的移动

产品分类

按探针台的自动化程度可分为

手动探针台

半自动探针台

全自动探针台

技术要求

一般要求

探针台上指示润滑操作安全等的标牌或标志应符合有关标准的规定

探针台一般应有测试完毕后的自动回零停机报警等功能

导轨轴承齿轮等运动部件应润滑良好各润滑部位应在具体产品说明中明确规定

探针台测试控制方式一般应具有矩阵控制方式和探边器控制方式

使用条件

探针台应能在下列使用条件下正常工作

环境条件

温度

相对湿度不大于

空气洁净度优于级

供电条件

外观要求

探针台外表面不允许有凸起凹陷毛刺粗糙不平和其他损伤现象

外表喷漆颜色均匀色调一致平整光滑不得有脱落龟裂流挂起泡划痕及误喷等现象套色

不得相互污染

电镀及化学涂覆的零件表面应光滑无斑点锈蚀起泡脱层及明显划痕等缺陷

操作面板及各种标牌应清晰耐久其中的刻线数字文字和图形符号等标志应正确均匀并有

涂色

工作台精度要求

步进工作台向的垂直度应在具体的产品标准中规定其值不得大于

步进工作台的定位精度应在具体的产品标准中规定其值不得大于

步进工作台行进分辨率应在具体的产品标准中规定其值不得大于

步进工作台重复精度应在具体的产品标准中规定其值不得大于

承片台

承片台在高位时吸盘端面圆跳动应不大于包括吸盘回转及承片台沿向移动时

的示值误差

承片台重复精度应在具体产品标准中规定其值不得大于

承片台向行程应能在不小于的范围内可调

承片台回转角度应不小于

测试支架调节范围

向不小于

向不小于

向不小于

探边器的调节范围

向不小于

向不小于

向不小于

打标记器的调节范围

向不小于

向不小于

向不小于

上下片机构

上下片输片机构传送应灵活平稳准确

预定位应准确可靠定位角度应不大于

机械手吸片应牢固动作平稳准确

自动对准机构

探针台自动对准时间不大于

探针台自动对准精度