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T/SHDSGY 160-2022 非接触式硅片传输装置技术规范

T/SHDSGY 160-2022 Non-contact Silicon Wafer Transfer Device Technical Specification

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/SHDSGY 160-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2022-11-30
实施日期
2022-11-30
发布单位/组织
-
归口单位
上海都市型工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了非接触式硅片传输装置的术语和定义、技术要求、方案、图纸、性能参数、使用说明书、检验要求、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于非接触式硅片传输装置技术规范

发布历史

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研制信息

起草单位：
上海睿范自动化设备有限公司、熙卓电子科技（上海）有限公司、北京易讯恒通科技有限公司
起草人：
尉世卓、陈刚、龙万容
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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