T/SHDSGY 160-2022 非接触式硅片传输装置技术规范
T/SHDSGY 160-2022 Non-contact Silicon Wafer Transfer Device Technical Specification
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SHDSGY 160-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-11-30
实施日期
2022-11-30
发布单位/组织
-
归口单位
上海都市型工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了非接触式硅片传输装置的术语和定义、技术要求、方案、图纸、性能参数、使用说明书、检验要求、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于非接触式硅片传输装置技术规范
发布历史
-
2022年11月
-
2023年06月
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研制信息
- 起草单位：
- 上海睿范自动化设备有限公司、熙卓电子科技（上海）有限公司、北京易讯恒通科技有限公司
- 起草人：
- 尉世卓、陈刚、龙万容
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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