T/SHDSGY 160-2022 非接触式硅片传输装置技术规范
T/SHDSGY 160-2022 Non-contact Silicon Wafer Transfer Device Technical Specification
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SHDSGY 160-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-11-30
实施日期
2022-11-30
发布单位/组织
-
归口单位
上海都市型工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了非接触式硅片传输装置的术语和定义、技术要求、方案、图纸、性能参数、使用说明书、检验要求、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于非接触式硅片传输装置技术规范
发布历史
-
2022年11月
-
2023年06月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 上海睿范自动化设备有限公司、熙卓电子科技（上海）有限公司、北京易讯恒通科技有限公司
- 起草人：
- 尉世卓、陈刚、龙万容
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CVIA 130-2023 视觉疲劳测试与评价方法 第3部分 电子纸可读性测试及评价方法 2023-11-07
- T/QGCML 1003-2023 电解换极操作规程 2023-07-13
- T/CASME 1530-2024 空调用防爆型压敏电阻器通用技术要求 2024-06-04
- T/CIET 087-2023 计算机 、通信和其他电子设备制造业碳中和节能设备评价规范 2023-04-20
- T/CASMES 99-2022 电子电气产品用注塑件中十项限用物质的限量要求 2022-09-08
- T/SHDSGY 163-2023 智能电力电容器补偿装置控制软件 2023-06-26
- T/SLDHIA 3000-2024 平板LED显示屏技术要求 2024-01-10
- T/CVIA 127-2023 Micro LED显示屏光学性能技术规范-车载透明 2023-10-29
- T/SICA 004-2024 音频用集成电路信号传输与控制接口要求 2023-12-26
- T/CI 027-2021 液晶显示背光模组用量子点扩散板 2021-09-15