T/IAWBS 005-2024 6~8英寸碳化硅单晶抛光片
T/IAWBS 005-2024 6~8-inch silicon carbide single crystal polished wafer
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/IAWBS 005-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
本文件规定了6~8英寸4H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。
发布历史
-
1970年01月
-
2018年12月
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研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：25 千字 | 开本： -
内容描述
暂无内容
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