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T/IAWBS 018-2022 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

T/IAWBS 018-2022 Testing method for the dislocation density of diamond single crystal polished wafers

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/IAWBS 018-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2022-12-15
实施日期
2022-12-22
发布单位/组织
-
归口单位
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
适用范围
范围:本文件规定了金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法。 本文件适用于金刚石单晶抛光片位错密度的测试; 主要技术内容:本标准根据金刚石单晶的材料性能特点，并结合目前国内外其他单晶如蓝宝石位错密度的检测技术的研究水平，对金刚石单晶抛光片位错密度的测试原理、测量精度保障、测量步骤等内容做出了规定

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研制信息

起草单位：
中国科学院半导体研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、 北京三平泰克科技有限责任公司、吉林大学
起草人：
霍晓迪、金鹏、郑红军、冯梦阳、许敦洲、李红东
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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