T/SSEA 0327-2023 半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒
T/SSEA 0327-2023 Ultra-high purity stainless steel rod for semiconductor manufacturing equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/SSEA 0327-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-11-30
实施日期
2023-11-30
发布单位/组织
-
归口单位
中国特钢企业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒(圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称,以下简称钢棒)的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸(直径、边长、厚度或对边距离,以下简称尺寸)不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒
发布历史
-
2023年11月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位:
- 安徽富凯特材有限公司、江苏武进不锈股份有限公司、浦夕特种合金(上海)有限 公司、冶金工业规划研究院
- 起草人:
- 徐涛、高虹、范铁军、林立洲、翟丽丽、肖邦国、江庆东、霍咚梅、张丰麟、 吴振忠
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CEEIA 382-2019 YBZP2系列起重用隔爆型变频调速 三相异步电动机技术条件 (机座号112~355) 2019-10-23
- T/CAS 250-2016 人民币鉴别仪磁性传感器 线圈磁头 2016-08-01
- T/CECA 85-2023 微型泵电机转子用永磁铁氧体磁体 2023-09-08
- T/CEC 445-2021 有缆遥控水下机器人海底电缆巡检作业规程 2021-04-23
- T/GAPEC 005-2019 气体绝缘金属封闭开关设备监理规范 110kV 及以上电压等级 2019-09-26
- T/SNEIA 1-2023 可调节负荷侧资源价值评估导则 2023-09-28
- T/DIPA 15-2022 柔性直流输电阀级控制设备技术规范 2022-11-23
- T/SDL 1.41-2021 电气监测类设备技术规范 2019-07-10
- T/CEC 122.3-2016 电、水、气、热能源计量管理系统 第3-1部分:集中器技术规范 2016-10-21
- T/SZWCA 0020-2023 质量分级及“领跑者”评价要求 塑料绝缘控制电缆 2023-11-13