T/CI 608-2024 碳化硅衬底生产工艺技术规范
T/CI 608-2024 Silicon Carbide Substrate Production Process Specification
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CI 608-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中国国际科技促进会
归口单位
-
适用范围
本文件规定了碳化硅衬底的生产环境要求、原材料要求、生产设备要求、工艺流程、质量控制、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于碳化硅衬底生产。
发布历史
-
1970年01月
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研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：27 千字 | 开本： -
内容描述
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