T/CI 608-2024 碳化硅衬底生产工艺技术规范
T/CI 608-2024 Silicon Carbide Substrate Production Process Specification
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CI 608-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-11-25
实施日期
2024-11-25
发布单位/组织
-
归口单位
中国国际科技促进会
适用范围
范围:本文件规定了碳化硅衬底的生产环境要求、原材料要求、生产设备要求、工艺流程、质量控制、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于碳化硅衬底生产;
主要技术内容:本文件规定了碳化硅衬底的生产环境要求、原材料要求、生产设备要求、工艺流程、质量控制、检验规则、标志、包装、运输和贮存
发布历史
-
2024年11月
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研制信息
- 起草单位：
- 眉山博雅新材料股份有限公司、山西烁科晶体有限公司、扬帆半导体（江苏）有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、湖南宇晶机器股份有限公司、西湖仪器(杭州)技术有限公司
- 起草人：
- 王宇、魏汝省、张晓洪、赵丽丽、杨佳葳、刘东立、黄朝辉、顾鹏、毛开礼、李铁、李天、龚涛、刘西洋、袁丽、雷沛、俞小英
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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