GB/T 40868-2021 纳米尺度科研生产受控环境规划与设计

GB/T 40868-2021 Planning and design of controlled environments for research and production at the nanometer scale

国家标准 中文简体 现行 页数:18页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 40868-2021
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
适用范围
本文件给出了纳米尺度科研生产受控环境的规划与选址勘察、设计要求等。本文件适用于纳米尺度科研生产受控环境的规划与设计。

发布历史

研制信息

起草单位:
江苏苏净科技有限公司、中国电子工程设计院有限公司、中天道成(苏州)洁净技术有限公司、苏州市计量测试院、苏州嘉合洁净科技有限公司、中国标准化协会、国家纳米科学中心、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环境净化有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、杭州市标准化研究院、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、北京恒泰建业工程项目管理有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司
起草人:
王尧、蔡杰、姜皓遐、蒋乃军、杨子强、王其祥、王大千、姜伟康、陈霖新、张利群、朱兰、邴绍同、石小雷、高正、周炬、吴小泉、叶伟强、翟传明、张敏、杨兴宇、董玉平、郝胤博、惠旅峰、肖轶群
出版信息:
页数:18页 | 字数:36 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

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GBT408682021

纳米尺度科研生产受控环境规划与设计

Planninanddesinofcontrolledenvironmentsforresearchand

gg

productionatthenanometerscale

2021-10-11发布2022-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT408682021

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4概述………………………2

5规划………………………2

6设计………………………3

()…………………

附录资料性噪声评价曲线与限值

A6

()……………

附录资料性防微振设计

B9

()……………………

附录资料性纳米材料风险控制

C12

参考文献……………………14

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