JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等
JB/T 5630-1991 The energy consumption of semiconductor device diffusion furnaces is classified into different levels
行业标准-机械
中文(简体)
废止
页数：4页
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格式：PDF
基本信息
标准号
JB/T 5630-1991
标准类型
行业标准-机械
标准状态
废止
发布日期
1991-09-13
实施日期
1992-07-01
发布单位/组织
-
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1991年09月
研制信息
- 起草单位：
- 国营七〇〇厂
- 起草人：
- 钱祖权、黄淑敏
- 出版信息：
- 页数：4页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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