T/ICMTIA ESG0020-2022 集成电路用气体 锗烷
T/ICMTIA ESG0020-2022 Gas used for integrated circuits: Germanium hydride
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0020-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用锗烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于采用氯化锗、氧化锗、锗镁合金等原料制备的锗烷经过纯化后获得的集成电路用锗烷
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 广东华特气体股份有限公司、福建博纯材料有限公司、福建德尔科技股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司
- 起草人：
- 傅铸红、叶相平、陈艳珊、龚施健、徐孝天、于胜、陈金彬、林百志、赖金香、张奎
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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