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T/ICMTIA ESG0020-2022 集成电路用气体 锗烷

T/ICMTIA ESG0020-2022 Gas used for integrated circuits: Germanium hydride

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA ESG0020-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
01.020 术语学(原则和协调配合)
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用锗烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于采用氯化锗、氧化锗、锗镁合金等原料制备的锗烷经过纯化后获得的集成电路用锗烷

发布历史

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研制信息

起草单位：
广东华特气体股份有限公司、福建博纯材料有限公司、福建德尔科技股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司
起草人：
傅铸红、叶相平、陈艳珊、龚施健、徐孝天、于胜、陈金彬、林百志、赖金香、张奎
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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