GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

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GBT410732021ISO198302015

表面化学分析电子能谱射线

X

光电子能谱峰拟合报告的基本要求

——

SurfacechemicalanalsisElectronsectroscoiesMinimumreortin

ypppg

reuirementsforeakfittininX-rahotoelectronsectrosco

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(:,)

ISO198302015IDT

2021-12-31发布2022-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT410732021ISO198302015

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………2

5相关数据采集参数报告…………………2

5.1概述…………………2

5.2谱仪…………………3

5.3仪器分辨……………3

5.4检测器………………3

5.5X射线源……………3

5.6元素标识……………4

5.7谱图能量范围………………………4

5.8谱图能量步长………………………4

5.9荷电补偿……………4

6单谱峰拟合参数报告……………………4

6.1概述…………………4

6.2本底范围……………4

6.3本底积分范围………………………4

6.4本底类型……………4

6.5拟合本底应用………………………5

6.6设置峰参数…………………………5

6.7峰面积和峰高度……………………5

6.8峰面积比和峰高比…………………5

6.9半高峰宽……………5

6.10峰形…………………5

6.11峰不对称参数………………………6

6.12峰拟合处理…………………………6

6.13残差谱………………6

7多重谱峰拟合……………6

7.1概述……………