GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

ICS17.040.20

J04

国

中华人民共和国国家标准

GB/T36969-2018

纳米技术原子力显微术测定

纳米薄膜厚度的方法

Nanotechnology-Methodforthemeasurementofthenanofilm-thicknessby

atomicforcemicroscopy

2018-12-28实施

2018-12-28发布

国家市场监督管理总局峪非

中国国家标准化管理委员会0(..'I(J

GB/T36969-2018

目次

前言………………….I

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4原理………………………1

5测试条件…………………2

5.1环境条件……………2

5.2操作条件……………2

6设备………………………2

6.1原子力显微镜………………………2

6.2探针的选择…………………………2

6.3仪器的校准…………………………2

7样品………………………2

7.1样品的制备

7.2样品的清洗

8测试步骤·

8.1采集罔像数据前的准备

8.2罔像数据的采集

9数据处理与计算－

10重复性和再现性…………………………4

11测试报告…………………4

附录A（资料性附录）薄膜台阶的制备

参考文献…．

GB/T36969-2018

目u昌

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准由中同科学院提出。

本标准向全同纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）归仁｜。

本标准起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用同家工程研究中心。

本标准主要起草人：李慧琴、金承饪、梁齐、何丹农、韦菲菲。

I

GB/T36969-2018

纳米技术原子力显微术测定

纳米薄膜厚度的方法

1范围

本标准规定了使用原子力显微术（AFM）测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步

骤和数据处理。

本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的眼厚测

定也可参照执行。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件

。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T31227原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

J.TF1059.12012测量不确定度评定与表示

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

原子力显微术atomicforcemicroscopy

通过检测探针和l样品表面的相互作用力（吸引力或排斥力）来控制探专｜和样品间的距离从而获得表

面形貌的扫描探专｜显微镜技术。

[GB/T27760-2011，