GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
GB/T 31227-2014 Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
国家标准
中文简体
现行
页数：10页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2014-09-30
实施日期
2015-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
适用范围
本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
发布历史
-
2014年09月
研制信息
- 起草单位：
- 上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
- 起草人：
- 李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS17.040.20
J04
中华人民共和国国家标准
/—
GBT312272014
原子力显微镜测量
溅射薄膜表面粗糙度的方法
Testmethodforthesurfacerouhnessbatomicforcemicroscoe
gyp
forsutteredthinfilms
p
2014-09-30发布2015-04-15实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT312272014
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由中国科学院提出。
(/)。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会SACTC279归口
:、。
本标准起草单位上海交通大学纳米技术及应用国家工程研究中心
:、、
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