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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

GB/T 31227-2014 Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

国家标准 中文简体 现行 页数：10页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 31227-2014
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J04 基础标准与通用方法
国际标准分类号（ICS）
17.040.20 表面特征
发布日期
2014-09-30
实施日期
2015-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
适用范围
本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

发布历史

文前页预览

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法-第1页
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法-第2页
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法-第3页
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法-第4页

研制信息

起草单位：
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人：
李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰
出版信息：
页数：10页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS17.040.20

J04

中华人民共和国国家标准

/—

GBT312272014

原子力显微镜测量

溅射薄膜表面粗糙度的方法

Testmethodforthesurfacerouhnessbatomicforcemicroscoe

gyp

forsutteredthinfilms

p

2014-09-30发布2015-04-15实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT312272014

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由中国科学院提出。

(/)。

本标准由全国纳米技术标准化技术委员会SACTC279归口

:、。

本标准起草单位上海交通大学纳米技术及应用国家工程研究中心

:、、

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