YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

ICS77.150.40

H62

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST9362013

集成电路器件用镍钒合金靶材

Sutterinnickelvanadiumallotaretusedininteratedcircuitdevice

pgygg

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2013-10-17发布2014-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST9362013

集成电路器件用镍钒合金靶材

1范围

、、、、、

本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求试验方法检验规则和标志包装运输

、。

贮存质量证明书及合同或订货单内容

本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/产品几何技术规范()表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GBT1031GPS

/金属平均晶粒度测定法

GBT6394

/、、、

GBT14265金属材料中氢氧氮碳和硫分析方法通则

GJB1580A变形金属超声检验方法

/溅射靶材背板结合质量超声波检验方法

YST837-

ㅤㅤㅤㅤ

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

靶材taret

g

。、的形式

溅射沉积技术中的阴极部分该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子原子或离子

脱离阴极而在阳极表面沉积。

3.2

靶坯taretblank

g

阴极上用作目标材料的部分。

3.3

背板backinlate

gp

。(、、)、、

用来支撑或固定靶坯的部分靶材与背板可以通过焊接如钎焊电子束焊扩散焊等机械复合

粘接等方式连接。

4要求

4.1产品分类

,。

按照结构形式分为单体和复合两种如图所示

4.1.11

1

/—

YST9362013

)复合靶材)单体靶材

ab

图1靶材结构示意图

、()。

4.1.2按照形状分类主要为圆形矩形和异形如三角形等

、。

4.1.3靶材的背板可包括铜及铜合金铝及铝合金等

4.2牌号表示方法和标记示例

-

产品等级

()

合金元素含量质量分数

产品名称

:。

示例重量百分比为的级镍钒合金表示为

72NiV7-2

4.3化学成分

镍钒合金溅射靶材的成分及杂质元素要求应符合表规定。

1

表1镍钒合金溅射靶材牌号和对应的化学成分表

ㅤㅤㅤㅤ

化学成分

金属杂质含量(-4)/≤

1×10%

牌号(-4)/

1×10%

NiVAgAlAsCaCoCrCuFeKLi

NiV7-1550311525151511

NiV7-2余量7.0±0.5580—3050506010055

NiV7-3————100100100300——

金属杂质含量(-4)/杂质总含量

1×10%≤

牌号

(-4)/≤

1×10%

MgMnMoNaPbSiTiWZn

NiV7-125151552553100

NiV7-25010205520050——500

NiV7-3—0.01———————1000

气体杂质含量(-4)/

1×10%≤

牌号

CNOS

NiV7-11003010020

NiV7-24005015030

NiV7-3————

:,。

注用户对合金元素和杂质元素有特殊要求的由供需双方协商

1

:(、、、)。

注镍钒合金溅射靶材的纯度为减去表中金属杂质实测总和的余量不含

2100%CNOS

注3:“—”表示不作要求。

2

/—

YST9362013

4.4晶粒尺寸

,。

镍钒合金溅射靶材的晶粒尺寸应符合表规定并且晶粒分布均匀

2

表2镍钒合金溅射靶材晶粒尺寸要求

平均值/μm最大值/μm

≤100≤150

:,,()。

注需方如有特殊要求时由供需双方商定并在合同或订货单中注明

4.5内部质量

。,。

镍钒合金溅射靶材内部不应有夹杂和气孔等缺陷需方如有特殊要求时由供需双方商定

4.6焊接质量

。,,

镍钒合金溅射靶材的焊接分为钎焊和扩散焊焊接质量应符合表的规定需方如有特殊要求时

3

由供需双方商定。

表3焊接质量要求

焊接方式焊接结合率单个未焊合间隙面积占总面积的百分比

ㅤㅤㅤㅤ

钎焊≥95%≤2%

扩散焊≥98%≤1%

4.7外形尺寸与允许偏差

,,。

镍钒合金溅射靶材尺寸一般由需方提供图纸经供需双方确认后方可生产

4.8表面粗糙度

,值应不大于。需方如有

镍钒合金溅射靶材表面粗糙度应符合图纸要求图纸无要求时Ra1.6m

μ

,,()。

特殊要求时由供需双方商定并在合同或订货单中注明

4.9外观质量

、,、、、。

镍钒合金溅射靶材表面应清洁光滑无指痕油污锈蚀颗粒附加物或其他沾污

5试验方法

5.1化学成分的分析方法

化学成分分析按照附录和附录的规定进行。

5.1.1AB

气体元素、、、的分析按照/的规定执行。

5.1.2CNOSGBT14265

3

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YST9362013

5.2晶粒尺寸检验

/、。

按照GBT6394进行观察评定和确认

5.3内部质量检验

按GJB1580A的规定进行。

5.4焊接质量检验

按/的规定进行。

YST837

5.5产品外形尺寸及其允许偏差

应用相应精度的测量工具进行测量。

5.6表面粗糙度检测

按照/的规定进行。

GBT1031

5.7外观质量

,,。

用目视检查如发现异常现象在倍放大镜条件下进行目视检查

10

5.8包装质量

ㅤㅤㅤㅤ

用目视检查。

6检验规则

6.1检验和验收

,(),

6.1.1产品应由供方检验部门进行检验保证产品质量符合本标准及合同或订货单的规定并填写

质量证明书。

。(