GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
GB/T 16878-1997 Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
国家标准
中文简体
现行
页数：13页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16878-1997
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
1997-06-20
实施日期
1998-03-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1997年06月
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子中心
- 起草人：
- 陈宝钦、陈森锦、廖温初
- 出版信息：
- 页数：13页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 43122-2023 船舶与海上技术 LNG燃气供应系统(FGSS)性能测试要求 2023-09-07
- GB/T 43123-2023 船舶与海上技术 LNG燃气供应系统(FGSS)高压泵性能测试要求 2023-09-07
- GB/T 43127-2023 航天产品结构部件与组件通用要求 2023-09-07
- GB/T 43129-2023 现代化煤矿评价方法 2023-09-07
- GB/T 43126-2023 页岩油地质甜点评价技术规范 2023-09-07
- GB/T 43124-2023 船舶与海洋技术 海上环境保护 5 ppm油水分离用储罐和管路系统 2023-09-07
- GB/T 43131-2023 人造金刚石磁化率测定方法 2023-09-07
- GB/T 43121.1-2023 船舶和海上技术 水生有害物种 第1部分：压载水排放取样接口 2023-09-07
- GB/T 43128-2023 航空航天热塑性聚氨酯弹性体中间膜通用技术规范 2023-09-07
- GB/T 43125-2023 页岩油产能评价技术规范 2023-09-07