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T/CEMIA 043-2024 集成电路扩散设备用石英外管

T/CEMIA 043-2024 Quartz outer tube used for integrated circuit diffusion equipment

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CEMIA 043-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
Q35 石英玻璃
国际标准分类号（ICS）
81.040.30 玻璃产品
发布日期
2024-11-05
实施日期
2025-01-15
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子材料行业协会
适用范围
范围:本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于集成电路制造工艺用12英寸及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品; 主要技术内容:外观质量、尺寸偏差、倒角偏差、形位偏差、角度偏差、表层杂质元素含量、应力、密封面泄漏率、密封面卷边

发布历史

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研制信息

起草单位：
浙江富乐德石英科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、上海强华实业股份有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、北京凯德石英股份有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司
起草人：
杨军、汪俊、张甲宏、郑明山、黄书君、王慧、钱卫刚、秦卫光、叶国闽、宋贤、高君、李来斌、周文华、蓝呈、张娟、张忠恕、盛文彬、沈根法、孔凡昌、汤芳、卫令中
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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