适用范围：本文件规定了光伏单晶硅生长用石英坩埚高纯内层砂的要求、检验规则及标志、包装、运输和贮存，描述了相应的试验方法。 本文件适用于光伏单晶硅生长用石英坩埚生产时内层用高纯石英砂（以下简称“石英砂”）的生产、检验、交付和验收,包括以天然石英矿石或水晶等为原料，通过加工、提纯等生产工艺制备的天然石英砂，以及以高纯含硅物质为原料，采用物理、化学方法制备的合成石英砂。

适用范围：本文件规定了光刻用掺钛石英玻璃（以下简称掺钛石英玻璃）的要求、检验规则以及标志、包装、运输和贮存，描述了相应的试验方法。 本文件适用于半导体集成电路光刻反射光学系统用掺钛石英玻璃的生产、检验、交付和验收。

适用范围：本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、技术要求、试验方法、检验规则以及产品标识、包装、运输和贮存。 本文件适用于集成电路制造工艺用12 in及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品。 注：1 in=25.4 mm。

适用范围：本文件规定了光纤制程用高纯石英砂的分级、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于光纤主材、光纤辅材制程用高纯石英砂，包括以天然石英矿为原料通过加工、提纯等生产工艺制备的石英砂，以及以含硅化合物为原料、采用物理、化学方法制备的合成石英砂。

适用范围：本文件规定了石英玻璃棉的代号与标记、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存。 本文件适用于采用石英玻璃棒熔喷法生产的石英玻璃棉。

适用范围：本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。

适用范围：本文件规定了高纯不透明石英玻璃的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体、光伏等领域具有隔热作用的高纯不透明石英玻璃材料。

适用范围：本标准规定了石英玻璃中羟基含量检验的术语和定义、试验原理、试验仪器、试样要求、试验步骤、结果计算方法与表示、检验报告。 本标准适用于石英玻璃中羟基含量的检验。

适用范围：本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。

适用范围：本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二极管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。

适用范围：本标准规定了光纤拉丝用石英玻璃把持管（以下简称石英把持管）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于光纤拉丝过程中，用来作为把持、支撑或延长作用的石英玻璃管。