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T/CEMIA 057-2026 半导体设备用石英玻璃表层杂质元素含量检测方法

T/CEMIA 057-2026 Testing method for impurity elements content in the surface layer of quartz glass products for semiconductor

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CEMIA 057-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
Q35 石英玻璃
国际标准分类号（ICS）
81.040.30 玻璃产品
发布日期
2026-07-27
实施日期
2026-09-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子材料行业协会
适用范围
本标准规定了使用酸浸取石英玻璃表层一定深度（≤5μm）内的金属杂质，使用电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）定量检测被浸取的石英玻璃质量，使用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）定量检测金属杂质元素含量的方法。 方法原理、干扰因素、试剂、仪器和设备、环境条件、试样准备、试验步骤、结果计算与表示、精密度和质量控制、试验报告

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研制信息

起草单位：
浙江富乐德石英科技有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、北京凯德石英股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、上海强华半导体股份有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、中研颗精密机械(苏州)有限公司、杭州睿昇半导体科技有限公司、南通晶体有限公司、锦州市士成新材料有限公司、辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司、连云港保康石英科技有限公司、江苏圣达石英制品有限公司、重庆臻宝科技股份有限公司、福建奥腾光电半导体材料有限公司、杭州希锐材料科技有限公司
起草人：
杨军、姜一、郑明山、包有为、黄书君、盛文彬、王慧、沈根法、谷巨明、刘利珂、张忠恕、周文华、钱卫刚、李景双、孔凡昌、汤芳、张勇、李来斌、宋学富、张彩根、叶国闽、陆惠清、陈敏坚、钱宜刚、徐秀杰、唐娣、宗志云、王燕清、胡飞、张娟、高君、刘飞、宋贤、贾钢丁
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

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