T/CEMIA 059-2026 集成电路炉管设备用石英管泄漏测试方法

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标准号

T/CEMIA 059-2026

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

Q35 石英玻璃

国际标准分类号（ICS）

81.040.30 玻璃产品

发布日期

2026-07-27

实施日期

2026-09-01

发布单位/组织

归口单位

中国电子材料行业协会

适用范围

本标准规定了集成电路炉管设备用石英部件的真空泄漏测试方法，包括测试的一般要求、测试方法、和测试报告人员资质、设备要求、气体要求、环境要求、测试方法、测试报告

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起草单位：: 浙江富乐德石英科技有限公司、北京凯德石英股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司、连云港保康石英科技有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、杭州睿昇半导体科技有限公司、上海强华半导体股份有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、中研颗精密机械(苏州)有限公司、南通晶体有限公司、锦州市士成新材料有限公司、江苏圣达石英制品有限公司、重庆臻宝科技股份有限公司、杭州希锐材料科技有限公司

起草人：: 杨军、张荣、林胜雄、张鑫江、包有为、张娟、高君、周文华、张彩根、李景双、王慧、盛文彬、沈根法、彭雁、秦卫光、刘晓光、唐娣、孔凡昌、张月秋、沈一春、宋贤、宗志云、何桥、熊川、钱宜刚、徐秀杰、刘微、刘飞、陈敏坚、于博、钱卫刚

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