T/CEMIA 058-2026 集成电路外延设备用圆形石英腔

团体标准中文(简体) 现行页数：0页 | 格式：PDF

标准号

T/CEMIA 058-2026

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

Q35 石英玻璃

国际标准分类号（ICS）

81.040.30 玻璃产品

发布日期

2026-07-27

实施日期

2026-09-01

发布单位/组织

归口单位

中国电子材料行业协会

适用范围

本文件规定了集成电路外延设备用圆形石英腔的术语和定义、分类和标记、材料、技术要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。材料、外观质量、未注线性尺寸公差、未注倒角公差、未注角度公差、材料杂质元素含量、应力、密封面泄漏率

当前资源暂不支持预览

起草单位：: 浙江富乐德石英科技有限公司、久智光电子材料科技有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、连云港保康石英科技有限公司、北京凯德石英股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、上海强华半导体股份有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、重庆臻宝科技股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、南通晶体有限公司、锦州市士成新材料有限公司、辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司、江苏圣达石英制品有限公司、中研颗精密机械(苏州)有限公司、杭州睿昇半导体科技有限公司

起草人：: 杨军、吴然红、郑明山、黄书君、包有为、周文华、谷巨明、秦卫光、肖靖武、李来斌、唐娣、张忠恕、王慧、钱卫刚、孔凡昌、常永喜、孙秋瑾、盛文彬、张振华、叶国闽、张甲宏、陆惠清、余建勇、钱宜刚、徐秀杰、李景双、吴静立、王文彬、张杰、陈敏坚、宗志云、张月秋、刘微、蓝呈

暂无内容

更多>