GB/T 45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃

ICS81.040.30

CCS35

Q

中华人民共和国国家标准

/—

GBT458262025

光刻用掺钛石英玻璃

Titaniadoedsilicalassforlithorah

pggpy

2025-05-30发布2025-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT458262025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国建筑材料联合会提出。

(/)。

本文件由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会SACTC447归口

:、、

本文件起草单位湖北菲利华石英玻璃股份有限公司中国建筑材料科学研究总院有限公司中国

、()、、

国检测试控股集团股份有限公司玻璃新材料创新中心安徽有限公司中国科学院微电子研究所

、、

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中建材玻璃新材料研究院集团有限公司成都光明光电股

、、、、

份有限公司成都光明光电有限责任公司威海长和光导科技有限公司南通晶体有限公司中国计量科

、、、

学研究院中国科学院光电技术研究所久智光电子材料科技有限公司中国科学院上海光学精密机械

、、、、

研究所济南光微半导体科技有限公司上海菲利华石创科技有限公司神光光学集团有限公司上海传

、、、

芯半导体有限公司成都路维光电有限公司长沙韶光芯材科技有限公司国检测试控股集团重庆检测

有限公司。

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人张寒聂兰舰刘俊龙夏郭俊谢常青张海涛沈一春钱宜刚邵竹锋王慧

、、、、、、、、、、、、、

刘焕敏刘亚茹王京侠李佩悦于浩陈卫东刘振禹毛露路云仕东莫大洪王世凯裴广庆曹欣

、、、、、、、、、、、、。

崔剑秋黄婷秦卫光韩甫金晓荣黄芸卢卫民蔡晓峰司继伟郑宇辰李弋舟王亮亮胡会容

Ⅰ

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GBT458262025

光刻用掺钛石英玻璃

1范围

()、、、

本文件规定了光刻用掺钛石英玻璃以下简称掺钛石英玻璃的要求检验规则以及标志包装运

,。

输和贮存描述了相应的试验方法

、、。

本文件适用于半导体集成电路光刻反射光学系统用掺钛石英玻璃的生产检验交付和验收

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/包装储运图示标志

GBT191

/、

GBT5949透明石英玻璃气泡气线试验方法

/无色光学玻璃测试方法条纹度检测方法

GBT7962.7

/低膨胀玻璃线热膨胀系数试验方法激光干涉法

GBT43881

/石英玻璃术语

JCT2205

/光学石英玻璃应力双折射试验方法点扫描法

JCT2851

3术语和定义

/界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

JCT2205

3.1

掺钛石英玻璃titaniadoedsilicalass

pg

-8-1

在某一温度范围内平均线热膨胀系数不大于5×10℃的含二氧化钛的石英玻璃。

:,。

注平均线热膨胀系数的最低测试温度不低于-50℃最高测试温度不超过300℃

4要求

4.1规格尺寸

()、、。

掺钛石英玻璃的直径或长宽及其偏差厚度及其偏差关键区域和非关键区域由供需双方商定

关键区域与非关键区域示意图见图1。

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