T/CEMIA 060-2026 半导体槽式清洗设备用石英载具

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标准号

T/CEMIA 060-2026

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

Q35 石英玻璃

国际标准分类号（ICS）

81.040.30 玻璃产品

发布日期

2026-07-27

实施日期

2026-09-01

发布单位/组织

归口单位

中国电子材料行业协会

适用范围

本文件规定了半导体槽式清洗设备用石英载具的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。材料、外观质量、未注线性尺寸公差、未注角度尺寸公差、未注形位公差、材料杂质元素含量、应力

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起草单位：: 江苏富乐德石英科技有限公司、上海强华半导体股份有限公司、辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、杭州睿昇半导体科技有限公司、北京凯德石英股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、中研颗精密机械(苏州)有限公司、南通晶体有限公司、锦州市士成新材料有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、连云港保康石英科技有限公司、江苏圣达石英制品有限公司

起草人：: 杨军、汪俊、周文华、张月清、李勇斌、房玉林、王慧、谷巨明、秦卫光、盛文彬、张振华、叶国闽、宋贤、陈敏坚、张娟、钱卫刚、李来斌、蓝呈、孔凡昌、汤芳、孙秋瑾、陆惠清、沈一春、李景双、钱宜刚、唐娣、宗志云、于博、吴静立、高君、王海亮

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