适用范围：本标准规定了使用酸浸取石英玻璃表层一定深度（≤5μm）内的金属杂质，使用电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）定量检测被浸取的石英玻璃质量，使用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）定量检测金属杂质元素含量的方法。 方法原理、干扰因素、试剂、仪器和设备、环境条件、试样准备、试验步骤、结果计算与表示、精密度和质量控制、试验报告

适用范围：本文件规定了半导体槽式清洗设备用石英载具的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。 材料、外观质量、未注线性尺寸公差、未注角度尺寸公差、未注形位公差、材料杂质元素含量、应力

适用范围：本文件规定了集成电路外延设备用圆形石英腔的术语和定义、分类和标记、材料、技术要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。 材料、外观质量、未注线性尺寸公差、未注倒角公差、未注角度公差、材料杂质元素含量、应力、密封面泄漏率

适用范围：本标准规定了集成电路炉管设备用石英部件的真空泄漏测试方法，包括测试的一般要求、测试方法、和测试报告 人员资质、设备要求、气体要求、环境要求、测试方法、测试报告

适用范围：本文件界定了球形二氧化硅微粉的术语和定义，规定了其分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于中位粒径大于或等于1 μm的球形二氧化硅微粉的生产、检验、交付和验收。

适用范围：本文件规定了光伏单晶硅生长用石英坩埚高纯内层砂的要求、检验规则及标志、包装、运输和贮存，描述了相应的试验方法。 本文件适用于光伏单晶硅生长用石英坩埚生产时内层用高纯石英砂（以下简称“石英砂”）的生产、检验、交付和验收,包括以天然石英矿石或水晶等为原料，通过加工、提纯等生产工艺制备的天然石英砂，以及以高纯含硅物质为原料，采用物理、化学方法制备的合成石英砂。

适用范围：本文件规定了光刻用掺钛石英玻璃（以下简称掺钛石英玻璃）的要求、检验规则以及标志、包装、运输和贮存，描述了相应的试验方法。 本文件适用于半导体集成电路光刻反射光学系统用掺钛石英玻璃的生产、检验、交付和验收。

适用范围：本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、技术要求、试验方法、检验规则以及产品标识、包装、运输和贮存。 本文件适用于集成电路制造工艺用12 in及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品。 注：1 in=25.4 mm。

适用范围：本文件规定了光纤制程用高纯石英砂的分级、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于光纤主材、光纤辅材制程用高纯石英砂，包括以天然石英矿为原料通过加工、提纯等生产工艺制备的石英砂，以及以含硅化合物为原料、采用物理、化学方法制备的合成石英砂。

适用范围：本文件规定了石英玻璃棉的代号与标记、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存。 本文件适用于采用石英玻璃棒熔喷法生产的石英玻璃棉。

适用范围：本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。

适用范围：本文件规定了高纯不透明石英玻璃的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体、光伏等领域具有隔热作用的高纯不透明石英玻璃材料。

适用范围：本标准规定了石英玻璃中羟基含量检验的术语和定义、试验原理、试验仪器、试样要求、试验步骤、结果计算方法与表示、检验报告。 本标准适用于石英玻璃中羟基含量的检验。