GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T 11446.9-2013 Test method for particles in electronic grade water by instrument
国家标准
中文简体
现行
页数：5页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 11446.9-2013
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2013-12-31
实施日期
2014-08-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
中国电子技术标准化研究院
适用范围
GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05 μm，微粒的浓度范围为0~10 000个/mL。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05 μm，微粒的浓度范围为0~10 000个/mL。
发布历史
-
1997年09月
-
2013年12月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 起草人：
- 王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS31-030
L90
中华人民共和国国家标准
/—
GBT11446.92013
代替/—
GBT11446.91997
电子级水中微粒的仪器测试方法
Testmethodforarticlesinelectronicradewaterbinstrument
pgy
2013-12-31发布2014-08-15实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT11446.92013
前言
/预计结构如下:
GBT11446
———/电子级水;
GBT11446.1
———/();
GBT11446.2待定
———/电子级水测试方法通则;
GBT11446.3
———/电子级水电阻率的测试方法;
GBT11446.4
———/电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法;
GBT11446.5
———/电子级水中二
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