GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T 11446.9-1997 Test method for particles in electronic grade water by instrument
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1997-09-01
实施日期
1998-09-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1997年09月
-
2013年12月
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院半导体研究所、电子工业部标准化研究所
- 起草人：
- 闻瑞梅、李晓英、王在忠、徐学敏、孙目盼、刘任重、许秀欣
- 出版信息：
- 页数：4页 | 字数：5 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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