GB/T 28159-2025 电子级磷酸

ICS31030

CCSL.90

中华人民共和国国家标准

GB/T28159—2025

代替GB/T28159—2011

电子级磷酸

Electronicgradephosphoricacid

2025-08-29发布2026-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T28159—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子级磷酸与相比除结构调整和编辑性

GB/T28159—2011《》,GB/T28159—2011,

改动外主要技术变化如下

,:

更改了电子级磷酸的规格等级见年版的

a)(4.2,20114.2);

更改了电子级磷酸外观的测试方法见年版的

b)(5.2,20115.3);

增加了电子级磷酸含量用电位滴定仪和密度仪测试的方法见及

c)(5.3.3);

增加了色度项目及检测方法见

d)(5.4);

更改了电子级磷酸易氧化物的测试方法见年版的

e)(5.5,20115.5);

更改了电子级磷酸金属离子的测试方法见年版的

f)(5.6,20115.6);

更改了电子级磷酸氯化物硝酸盐硫酸盐的测试方法见年版的

g)、、(5.7,20115.7);

更改了电子级磷酸颗粒的测试方法见年版的

h)(5.8,20115.8);

增加了挥发酸项目及检测方法见

i)(5.9)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位中国电子技术标准化研究院湖北兴福电子材料股份有限公司贵州磷化集团

:、、()

有限责任公司江阴江化微电子材料股份有限公司江苏美阳电子材料有限公司天富江苏科技有限

、、、()

公司西安吉利电子新材料股份有限公司信联电子材料科技股份有限公司广西川金诺化工有限公

、、、

司江苏澄星磷化工股份有限公司云南省化工产品质量监督检验站联仕新材料苏州股份有限公司

、、、()、

湖北三宁化工股份有限公司广西钦州志诚化工有限公司眉山胜科电子化学有限公司晶瑞电子材料

、、、

股份有限公司

。

本文件主要起草人曹可慰李少平史泽远赵俊莎姜飞陈惠云顾玲燕吴怡然李祥庆苏守进

:、、、、、、、、、、

聂新宇张宝帅胡国涛贾成林陈伟徐海圣张淑娟王琴姚莎李万清雷惠宪李全东叶瑞贺兆波

、、、、、、、、、、、、、、

黄如林张永萍黄俊群钱森林王洪华

、、、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为

———2011GB/T28159—2011;

本次为第一次修订

———。

Ⅰ

GB/T28159—2025

电子级磷酸

1范围

本文件规定了电子级磷酸的要求检验规则以及标志包装运输贮存安全等并描述了相应的试

、、、、、,

验方法

。

本文件适用于半导体集成电路芯片显示面板等行业用的电子级磷酸

、、。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

包装储运图示标志

GB/T191

化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T601

化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T602

化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T603

化学试剂磷酸

GB/T1282—2013

食品安全国家标准食品添加剂磷酸

GB1886.15—2015

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

电子级水

GB/T11446.1

化学品安全标签编写规定

GB15258

液体无机化工产品色度测定通用方法

GB/T23770

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T25915.11:

化学试剂离子色谱法测定通则

GB/T34672—2017

电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T11637—2016

电子化学品中颗粒的测试方法

SJ/T11638

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义

。

要求

4

41外观

.

电子级磷酸应为无色透明液体

。

42规格

.

电子级磷酸分为级级级共个等级其中级主要用于显示面板行业级主要用

E1、E2、E33,E1、E2

于寸集成电路行业级主要用于寸集成电路行业

8、E312。

1

GB/T28159—2025

43技术要求

.

电子级磷酸的技术要求应符合表的规定

1。

表1技术要求

指标

项目

E3E2E1

磷酸质量分数

(H3PO4)/%85~9085~9085~90

色度黑曾单位

/≤5≤5≤10

易氧化物以计质量分数

(H3PO3)/%≤0.0005≤0.0005≤0.001

硝酸盐-质量分数

(NO3)/(mg/kg)≤0.1≤0.1≤0.5

硫酸盐2-质量分数

(SO4)/(mg/kg)≤0.5≤0.5≤5

氯化物-质量分数

(Cl)/(mg/kg)≤0.5≤0.5≤0.5

挥发酸以+计含量

(H)/(mmol/g)≤0.0002≤0.0002≤0.0002

银质量分数

(Ag)/(μg/kg)≤1≤5≤20

铝质量分数

(Al)/(μg/kg)≤1≤5≤50

砷质量分数

(As)/(μg/kg)≤1≤5≤20

金质量分数

(Au)/(μg/kg)≤1≤5≤10

硼质量分数

(B)/(μg/kg)≤1≤5≤50

钡质量分数

(Ba)/(μg/kg)≤1≤5≤20

钙质量分数

(Ca)/(μg/kg)≤1≤5≤50

镉质量分数

(Cd)/(μg/kg)≤1≤5≤20

钴质量分数

(Co)/(μg/kg)≤1≤5≤20

铬质量分数

(Cr)/(μg/kg)≤3≤5≤20

铜质量分数

(Cu)/(μg/kg)≤1≤5≤20

铁质量分数

(Fe)/(μg/kg)≤5≤20≤50

镓质量分数

(Ga)/(μg/kg)≤1≤5≤10

钾质量分数

(K)/(μg/kg)≤1≤5≤20

锂质量分数

(Li)/(μg/kg)≤1≤5≤10

镁质量分数

(Mg)/(μg/kg)≤1≤5≤20

锰质量分数

(Mn)/(μg/kg)≤1≤5≤20

钼质量分数

(Mo)/(μg/kg)≤1≤5≤20

钠质量分数

(Na)/(μg/kg)≤1≤5≤50

镍质量分数

(Ni)/(μg/kg)≤35≤20

铅质量分数

(Pb)/(μg/kg)≤1≤5≤20

锑质量分数

(Sb)/(μg/kg)≤1≤5≤100

锡质量分数

(Sn)/(μg/kg)≤1≤5≤10

2

GB/T28159—2025

表1技术要求续

()

指标

项目

E3E2E1

锶质量分数

(Sr)/(μg/kg)≤1≤5≤20

钛质量分数

(Ti)/(μg/kg)≤1≤5≤50

铊质量分数

(Tl)/(μg/kg)≤1≤5≤20

锌质量分数

(Zn)/(μg/kg)≤1≤5≤50

颗粒个

≥0.2μm/(/mL)≤20≤50—

颗粒个

≥0.1μm/(/mL)≤50≤100—

其他颗粒粒径个供需双方商定供需双方商定供需双方商定

/(/mL)

注为不做要求

:“—”。

5试验方法

51一般规定

.

本文件所用试剂在没有注明其他要求时均指分析纯试剂所用水为规定的

,GB/T11446.1EW-Ⅰ

级电子级水试验中所用标准滴定溶液杂质标准溶液制剂及制品在没有注明其他要求时均按照

。、、,,

的规定配制金属离子的测定颗粒测定及其溶液的配制及样品的处

GB/T601、GB/T602、GB/T603。、

理均需在不低于中规定的级洁净室进行

GB/T25915.1ISO6。

52外观检验

.

将试样注入比色管中至刻度线沿比色管直径对光观察是否为无色透明液体

50mL50mL,