T/CS 418-2026 半导体制造用超高纯特气柜洁净度标准
T/CS 418-2026
团体标准
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现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/CS 418-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-06-26
实施日期
2026-07-06
发布单位/组织
-
归口单位
中国商品学会
适用范围
-
发布历史
-
2026年06月
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研制信息
- 起草单位：
- 上海韩科科技股份有限公司、双安电力科技有限公司、广胜科技无锡有限公司
- 起草人：
- 贾厚成、沈家辉、傅超、聂纪广
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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