T/CS 418-2026 半导体制造用超高纯特气柜洁净度标准

T/CS 418-2026

团体标准 中文(简体) 现行 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
T/CS 418-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
-
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2026-06-26
实施日期
2026-07-06
发布单位/组织
-
归口单位
中国商品学会
适用范围
-

发布历史

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研制信息

起草单位:
上海韩科科技股份有限公司、双安电力科技有限公司、广胜科技无锡有限公司
起草人:
贾厚成、沈家辉、傅超、聂纪广
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: -

内容描述

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