T/CEPEA 0201-2024 集成电路装备用13.56 MHz射频电源通用技术规范
T/CEPEA 0201-2024 13.56 MHz RF Generator for Integrated Circuit Manufacturing Equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/CEPEA 0201-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-06-17
实施日期
2026-06-25
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子专用设备工业协会
适用范围
-
发布历史
-
2025年01月
-
2026年06月
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研制信息
- 起草单位：
- 北京华丞电子股份有限公司、天津吉兆源科技有限公司、季华实验室、上海微釜半导体设备有限公司、江阴市天马电源制造有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司、江苏神州半导体科技股份有限公司
- 起草人：
- 李光健、李树瑜、周航、陈鹏、王丽、王佳、邓国君、赵金龙、周天福、吴凯、孙园成、张义明、张吉鑫、朱培文、尹巧星
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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