GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷
GB/T 34085-2017 Gas for electronic industry—Trifluoromethane
基本信息
发布历史
-
2017年07月
研制信息
- 起草单位：
- 国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司
- 起草人：
- 陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠、曲庆、方华、王鸿、崔学文、周朋云
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
G86£3©
中华人民共和国国家标准
GB/T34085—2017
电子工业用气体三氟甲烷
Gasforelectronicindustry—Trifluoromethane
2017-07-31发布2017-11-01实施
发布
GB/T34085—2017
■>r■—>—
刖弓
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、
浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大
特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化T
股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人：陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠、曲庆、方华、
王鸿、崔学文、周朋云。
T
GB/T34085—2017
电子工业用气体三氟甲烷
1范围
本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等
离子蚀刻T-艺中作为蚀刻气体。
分子式:CHF:j0
相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量）。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB190危险货物包装标志
GB/T3723T业用化学产品采样安全通则
GB/T5099钢质无缝气瓶
GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分:光腔衰荡光谱法
GB/T7144气瓶颜色标志
GB/T14193液化气体气瓶充装规定
GB15258化学品安全标签编写规定
GB/T16804气瓶警示标签
GB/T26571特种气体储存期规范
GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法
TSGR0006气瓶安全技术监察规程
危险化学品安全管理条例（2002版）
特种设备安全监察条例（2009版）
3技术要求
三氟甲烷的质量应符合表1的要求。
表1技术指标
项目指标
三氟甲烷（CHFs）纯度（体积分数）/10-299.999
氧+氟（OzAr）含量（体积分数<1
氮（N2）含量（体积分数）/10-6<3
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10_<1
二
定制服务
推荐标准
- GB/T 4022.1-2021 卧轴矩台平面磨床 精度检验 第1部分：工作台面长度至1600 mm的机床 2021-03-09
- GB/T 39963-2021 立井冻结法凿井井壁应用C80～C100混凝土技术规程 2021-03-09
- GB/T 39965-2021 节能量前评估计算方法 2021-03-09
- GB/T 39960-2021 闭式单动机械压力机 参数和尺寸 2021-03-09
- GB/T 39967-2021 五轴联动加工中心 S形试件精度检验 2021-03-09
- GB/T 39964-2021 造纸行业能源管理体系实施指南 2021-03-09
- GB/T 39959-2021 液体泵和泵机组 噪声试验方法2级和3级 2021-03-09
- GB/T 39972-2021 国土空间规划“一张图”实施监督信息系统技术规范 2021-03-09
- GB/T 39966-2021 废弃资源综合利用业环境绩效评价导则 2021-03-09
- GB/T 39962-2021 压铸机 能效限定值及能效等级 2021-03-09