GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
GB/T 34091-2017 Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
国家标准
中文简体
现行
页数：7页
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格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2017-07-31
实施日期
2017-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C2F6。相对分子质量：138.012 4（按2013年国际相对原子质量)。
发布历史
-
2017年07月
研制信息
- 起草单位：
- 浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、天津长芦华信化工股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司
- 起草人：
- 史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT340912017
电子工业用气体六氟乙烷
—
GasforelectronicindustrHexafluoroethane
y
2017-07-31发布2017-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT340912017
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC203
:、、
本标准起草单位浙江省化工研究院有限公司广东华特气体股份有限公司四川中测标物科技有
、、
定制服务
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