T/ACCEM 612-2025 高端石英空白掩模版及工艺装备
T/ACCEM 612-2025 High-end quartz blank mask plate and process equipment
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ACCEM 612-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-07-10
实施日期
2025-08-08
发布单位/组织
-
归口单位
中国商业企业管理协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了高端石英空白掩模版及相关工艺装备的术语和定义、工艺装备、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。本文件适用于由石英基板、低反射率Cr膜和光刻胶层组成的掩模版
发布历史
-
2025年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 成都中科卓尔智能科技集团有限公司、成都绛溪未来光电科技有限公司、中导微半导体科技（北京）有限责任公司
- 起草人：
- 杨伟、张小林、王波、宋影松、杨鹏、察兴岭
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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