T/CMES 24021-2024 半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求

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标准号

T/CMES 24021-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

23.020.01 流体存储装置综合

发布日期

2024-12-30

实施日期

2025-01-30

发布单位/组织

归口单位

中国机械工程学会

适用范围

主要技术内容:本文件规定了半导体超纯聚合物过流部件污染物检测方法及表面粗糙度技术要求、数据整理与检测报告等

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起草单位：: 浙江启尔机电技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、中国液压气动密封件工业协会

起草人：: 苏芮、傅新、胡亮、杨军、张翼飞、徐文苹、李春华、常燕、郝萍、赵美慧、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、苗阵、李东升、古智扬、张仕成、庄海云、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、付华

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