T/CEMIA 042-2024 半导体硅片清洗用石英槽
T/CEMIA 042-2024 Silicon Wafer Cleaning Quartz Tank
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CEMIA 042-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中国电子材料行业协会
归口单位
-
适用范围
本文件规定了半导体硅片清洗用石英槽的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标识、清洗、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体硅片清洗用石英槽，以下简称石英槽。
发布历史
-
1970年01月
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研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：19 千字 | 开本： -
内容描述
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