T/SICA 001-2020 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
T/SICA 001-2020 Titanium dioxide production waste sulfuric acid used in integrated circuit manufacturing industry
团体标准
中文(简体)
现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/SICA 001-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2020-04-29
实施日期
2020-06-01
发布单位/组织
-
归口单位
上海市集成电路行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时,采用集成电路制造行业废硫酸的要求,主要技术指标为 ,硫酸(H2SO4)≥60W/ %;过氧化氢(H2O2)≤0.5W/ %;铁(Fe)≤0.002W/ %;透明度≥100/mm;色度,深于标准色度;灰分≤0.01 W/ %;砷(As)≤0.001W/ %;铅(Pb)≤0.02 W/ %
发布历史
-
2020年04月
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研制信息
- 起草单位:
- 上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电(中国)有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司
- 起草人:
- 徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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