T/SICA 001-2020 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸

T/SICA 001-2020 Titanium dioxide production waste sulfuric acid used in integrated circuit manufacturing industry

团体标准 中文(简体) 现行 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
T/SICA 001-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2020-04-29
实施日期
2020-06-01
发布单位/组织
-
归口单位
上海市集成电路行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时,采用集成电路制造行业废硫酸的要求,主要技术指标为 ,硫酸(H2SO4)≥60W/ %;过氧化氢(H2O2)≤0.5W/ %;铁(Fe)≤0.002W/ %;透明度≥100/mm;色度,深于标准色度;灰分≤0.01 W/ %;砷(As)≤0.001W/ %;铅(Pb)≤0.02 W/ %

发布历史

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研制信息

起草单位:
上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电(中国)有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司
起草人:
徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: -

内容描述

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